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EUV

在半导体行业,EUV一般指EUV光刻,即极紫外光刻。 极紫外光刻(英语:Extreme ultra-violet,也称EUV或EUVL)是一种使用极紫外(EUV)波长的光刻技术。 EUV光刻采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源,可使曝光波长一下子降到13。5nm,它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸。

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阿斯麦ASML公布EUV光源技术突破,2030年芯片产能或提升50%

阿斯麦 ASML 2026-02-24

阿斯麦将极紫外光刻机光源功率提升至1000瓦,助力提升芯片良率、降低制造成本

国产半导体设备加速崛起

半导体设备 ASML 2026-02-03

ASML计划裁员4%,简化技术部门内的决策流程

ASML DUV 2026-01-29

三星首次引入紫外层薄膜是在美国泰勒工厂

三星 紫外层薄膜 2026-01-26

中国EUV技术实现突破,半导体竞赛格局生变

EUV 半导体 2025-12-25

据报道,中国利用较旧的ASML组件制造EUV原型机,Eyes 2028芯片制造

ASML EUV 2025-12-19

ASML CEO警告:过度封锁或加速中国技术自主

ASML DUV 2025-12-16

使用电子噪声和抗蚀剂模糊模型预测随机EUV缺陷密度

电子噪声 抗蚀剂 2025-11-10

4亿美元太贵!台积电仍拒绝购买ASML的High-NA EUV设备

台积电 ASML 2025-10-23

ASML警告中国销量下降或加剧26年增长担忧

ASML EUV 2025-10-16

三星购买了两款ASML高数值孔值EUV工具

三星 ASML 2025-10-16

ASML警告明年来自中国的需求可能大幅下滑

ASML 财报 2025-10-16

台积电加速自研EUV光罩保护膜,单片晶圆生产效率提升了4.5倍

台积电 EUV 2025-09-23

三星据报道首次外包光掩模,着眼于新的 EUV 光掩模技术

EUV 光刻机 2025-09-18

台积电重新利用旧晶圆厂,将 EUV 薄膜生产引入内部

台积电 旧晶圆厂 2025-09-14

ASML 和 SK hynix 在韩国的工厂组装了业界首个“商用”High NA EUV 系统

EUV 光刻机 2025-09-04

美国、日本领导政府支持的光刻机(EUV)推广,韩国据报道落后

EUV 光刻机 2025-07-02

半导体巨头对high-NA EUV态度分化

半导体 high-NA EUV 2025-07-01

台积电重申1.4nm级工艺技术不需要高数值孔径EUV

台积电 1.4nm 2025-05-29

台积电保持观望 ASML最新EUV机台只卖了5台

台积电 ASML 2025-05-29

三星外包低端光掩模,将资源集中在ArF和EUV上

三星 低端光掩模 2025-05-15

三星被曝将首次外包芯片“光掩模”生产,聚焦ArF和EUV等先进技术

三星 外包芯片 2025-05-14

ASML计划在荷兰大规模扩张,助力EUV设备交付

EUV 光刻机 2025-05-09

ASM宣布将启动美国本土生产以应对关税压力

ASML EUV 2025-05-06

台积电避免使用高NA EUV光刻技术

台积电 高NA 2025-04-30

地都卖了,三星电子与ASML半导体研发合作还能继续吗?

三星电子 ASML 2025-04-23

前英特尔CEO加入光刻技术初创公司

英特尔 EUV 2025-04-15

三星已组建专注于1nm芯片开发的团队 量产目标定于2029年

三星 1nm 2025-04-10

ASML计划在日本扩增五倍EUV芯片工具员工

ASML EUV 2025-04-03

EUV的未来看起来更加光明

EUV AI芯片 2025-03-18

芯片巨头,盯上EUV

三星电子 EUV 2025-03-05

英特尔:ASML首批两台High-NA EUV设备已投产

英特尔 ASML 2025-02-26

英特尔两台High NA EUV光刻机已投产,单季完成3万片晶圆

英特尔 High NA EUV 2025-02-26

英特尔:首批两台High-NA EUV 设备已投产

英特尔 High-NA 2025-02-25

英特尔拿到的ASML高数值孔径EUV已投入生产

英特尔 ASML 2025-02-25

EUV光刻,新的对手

EUV 2025-01-15

纳米压印光刻技术旨在挑战EUV

中芯没EUV是好事?外媒爆自产DUV大突破

EUV DUV 2024-12-30

ASML净销售额75亿欧元,净利润为21亿欧元,预计2024年全年净销售额约为280亿欧元

ASML EUV 2024-10-16
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