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阿斯麦将极紫外光刻机光源功率提升至1000瓦,助力提升芯片良率、降低制造成本

ASML芯片制造的极紫外光刻机在生物医学领域令人惊讶——它们能够批量生产用于分子传感的纳米孔

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ASML 光刻机 2023-04-21

生产力提升15% ASML交付首台极紫外光刻机

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