三星外包低端光掩模,将资源集中在ArF和EUV上
据 The Elec 报道,三星计划外包用于存储芯片制造的光掩模的生产。到目前为止,该公司一直在内部生产所有光掩模,以防止技术泄漏。Elec 表示,据报道,三星正在评估低端光掩模的潜在供应商,例如 i-line 和 KrF。
本文引用地址:https://www.eepw.com.cn/article/202505/470467.htm与此同时,消息人士称,三星计划将 i-line 和 KrF 光掩模外包,以便将这些资源重新分配给 ArF 和 EUV。正如报告所强调的那样,ArF 和 EUV 光掩模更先进,将成为增强三星技术竞争力的关键。
据 Business Korea 援引消息人士的话称,三星正在加紧努力,用国产替代品取代依赖日本的 ArF 空白口罩。此外,该报告指出,三星还在努力将其他依赖日本的材料本地化,例如 EUV 薄膜。
与此同时,据报道,三星正在评估的 i-line 和 KrF 光掩模供应商包括日本凸版控股的子公司 Tekscend Photomask 和美国光掩模公司 Photronics 旗下的 PKL。报告指出,评估过程正在进行中,据报道预计将在第三季度完成。
先进节点开发推动光掩模需求增长
据 The Elec 称,光掩模按波长分类,EUV 使用 13.5nm 波长,这是目前最先进的技术,能够对最小的特征进行图案化。
随着芯片变得越来越先进和电路图形的缩小,所需的光掩模数量不断增长。例如,在逻辑芯片中,掩模数量预计将从 10nm 节点的 67 个增加到 1.75nm 节点的 78 个。正如 The Elec 所指出的,过去,DRAM 生产需要大约 30 到 40 个掩模,但现在这个数字超过 60 个。
The Elec 表示,韩国的光掩模市场价值约为 7000 亿韩元,利用率超过 90%,中国无晶圆厂半导体公司不断增长的需求正在推动这一增长。
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