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EUV

在半导体行业，EUV一般指EUV光刻，即极紫外光刻。 极紫外光刻（英语：Extreme ultra-violet，也称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长的光刻技术。 EUV光刻采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源，可使曝光波长一下子降到13。5nm，它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸。查看更多>>

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魏哲家亲自辟谣：台积电早已购入High-NA EUV光刻机

台积电 High-NA 2026-06-04

英特尔陈立武：14A制程2029年量产，18A工艺良率回升

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台积电暂缓引入High-NA EUV，先进制程竞争不只是设备选择

台积电 英特尔 2026-04-28

ASML最强EUV碰壁！ 台积电喊「太贵」真实盘算曝光

ASML EUV 2026-04-24

ASML意外大裁员的背后是对半导体发展失衡的担忧

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  • EUV专栏

非常需要大陆 ASML执行长急疯了！

ASML EUV 2024-07-10

ASML：我们有五个EUV光刻机客户

EUV 2023-05-12

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EUV 2022-12-14

EUV光刻太贵，替代方案被考虑

EUV 2022-11-09

42台EUV光刻机狂赚450亿！ASML年度成绩单来了

EUV 2022-01-21

下一代EUV光刻机即将爆发

EUV 2021-12-28
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