EUV技术专栏-电子产品世界网

EUV

在半导体行业，EUV一般指EUV光刻，即极紫外光刻。极紫外光刻（英语：Extreme ultra-violet，也称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长的光刻技术。 EUV光刻采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源，可使曝光波长一下子降到13。5nm，它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸。

非常需要大陆 ASML执行长急疯了！

美中贸易战开打后，跨国企业受到剧烈冲击，许多企业多次喊话无法放弃大陆市场，半导体设备龙头阿斯麦（ASML）新任执行长佛夸特（Christophe Fouquet）公开喊话，全球都需要中国大陆生产的传统芯片，西方国家投资不...

ASML EUV 2024-07-10

ASML：我们有五个EUV光刻机客户

韩国三星电子公司是总部位于荷兰的 ASML Holding NV 的“苛刻客户”，因为它正在增加荷兰公司的极紫外 (EUV) 光刻系统的订单，ASML 的高级执行官表示。这家全球第一大内存芯片制造商是该公司 EUV 光刻...

EUV 2023-05-12

EUV替代品？佳能新一代光刻机将推出

来源：内容由半导体行业观察（ID：icbank）综合自eenewseurope，谢谢。经过八年的研发和有限销售，佳能正准备为市场量产纳米压印光刻芯片制造设备。佳能正在东京以北的栃木县宇都宫建厂，估计耗资 500 亿日元（...

EUV 2022-12-14

EUV光刻太贵，替代方案被考虑

先进的光刻技术对于摩尔定律微缩的延续至关重要。随着芯片法案宣布将补贴美国半导体研发和制造500多亿美元，人们对芯片制造技术的基本现状产生了极大的兴趣。目前，三星5纳米工艺（指定为5LPE）就是向全球市场提供先进芯片制造技...

EUV 2022-11-09

42台EUV光刻机狂赚450亿！ASML年度成绩单来了

Q4营收50亿欧元，毛利率达54%。作者 | 高歌编辑 | Panken芯东西1月20日报道，荷兰当地时间1月19日，光刻机厂商ASML发布了其2021年第...

EUV 2022-01-21

下一代EUV光刻机即将爆发

随着先进制程芯片上量（包括逻辑芯片和存储器），芯片制造端的高技术含量规模也在不断扩大，其中，最具代表性的就是EUV光刻机，市场对其需求在未来几年将大幅增加。ASML预期今年EUV设备出货量有望达到50台，这已经是一个非常...

EUV 2021-12-28

不止EUV，先进芯片制造还有新选择

过去50多年里，半导体产业一直沿着摩尔定律向前发展，芯片工艺节点先后跨越了90nm、45nm、28nm、14nm，如今7nm和5nm已经实现量产，3nm和2nm是现在业界努力的方向，在这个不断演进的过程中，以光刻为基础的...

EUV 2021-12-26

EUV光刻机内部揭秘！

PatrickWhelan正在透过他的洁净室服面板凝视着事情的进展。在他面前是一块闪闪发光的玻璃，大约有一个烤箱那么大，上面刻有许多挖出的部分以减轻重量，看起来像一个外星图腾。Whelan 的团队正在将它粘在...

EUV 2021-11-09

挑战EUV光刻？NIL靠谱吗！

芯片制造离不开光刻机，且制程越先进，其重要性越凸出，占芯片制造总成本比例也越高，总体来看，光刻机的成本占总设备成本的30%。当制程发展到7nm后，必须要用到EUV(极紫外线)光刻机，这种光刻机只有ASML能够生产，且产能...

EUV 2021-11-01

【科普】什么是EUV光刻？

在说EUV之前，让我们先了解一下什么是光刻技术。光刻技术从基本上来说是一个投影系统，将光线投射并穿透印有电路蓝图的光罩，利用光学原理将图样打在已涂布感光****剂的硅晶片上，进行曝光。当未曝光的部分被蚀刻移除后，图样就会...

EUV 光刻 2019-06-17

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