半导体巨头对high-NA EUV态度分化

据外媒报道，近期，一位匿名英特尔高层提出一种颇具争议的观点：未来晶体管设计，例如GAAFET和CFET架构，可能会降低芯片制造对先进光刻设备的依赖，尤其是对EUV光刻机的需求。这一观点无疑对当前芯片制造技术的核心模式提出了挑战。
目前，ASML的极紫外光（EUV）及高数值孔径（high-NA）EUV光刻机在先进制程中扮演关键角色，通过曝光步骤将电路设计转印至晶圆，随后通过沉积和蚀刻工艺形成晶体管结构。然而，该英特尔高层认为，随着GAAFET和CFET等3D晶体管结构的发展，芯片制造将更依赖蚀刻技术，而非单纯依赖光刻设备。他强调，这些新型晶体管结构需要“从各个方向包裹栅极”，因此横向去除多余材料成为关键，制造商将更加注重蚀刻工艺，而非延长晶圆在光刻机中的处理时间。
英特尔在推进high-NA EUV技术上表现积极。据英特尔晶圆代工技术长兼营运长Naga Chandrasekaran透露，该公司计划使用high-NA EUV光刻技术制造14A芯片，并预计于2027年开始试产，2028年实现量产。然而，这一技术的高成本可能让客户更倾向于选择Low NA EUV光刻技术，这为英特尔带来了不小的市场风险。
相比之下，台积电和三星电子对high-NA EUV技术的态度显得更加谨慎。据台积电高层张晓强透露，台积电的1.6纳米级（A16）和1.4纳米级（A14）制程技术不会采用high-NA EUV光刻机，而将继续使用Low NA EUV光刻机。台积电预计在2028年实现1.4纳米制程的量产，与英特尔的14A节点时间表相近，但技术路径却截然不同。
三星方面，尽管已引入ASML的TWINSCAN EXE:5000 high-NA EUV光刻机，但韩媒报道称，三星和SK海力士均决定推迟在DRAM生产中引入该技术，理由是设备成本过高以及DRAM架构即将发生变化。此外，三星在逻辑芯片生产中采用high-NA EUV技术的计划也可能延后，显示出其与台积电类似的技术保守倾向。
总体来看，尽管ASML的high-NA EUV光刻机被视为未来半导体制造的关键设备，但英特尔、台积电和三星这三大巨头对其实际应用的态度存在明显分歧。英特尔选择激进推进，而台积电与三星则更倾向于观望，这一分化或将对未来半导体技术发展产生深远影响。