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euv 文章 最新资讯

英特尔陈立武:14A制程2029年量产,18A工艺良率回升

  • 英特尔CEO陈立武在受访时透露14A节点计划于2028年启动风险试产,2029年实现规模化量产。据外媒报道,英特尔CEO陈立武在受访时,公布了14A工艺的最新路线图,并透露该节点计划于2028年启动风险试产,2029年实现规模化量产。 这一计划较原定2027年下半年试产、2028年量产的安排有所推迟。作为第二代RibbonFET环绕栅极晶体管技术的载体,14A将首次采用ASML价值3.8亿美元的High-NA EUV光刻设备,配合全新背部供电架构PowerDirect,预计在能效比和晶体管密度上
  • 关键字: 英特尔   High-NA EUV  14A  18A  

阿斯麦CEO:首批High-NA光刻机生产的芯片将在数月内面世

  • 据路透社消息,全球顶尖芯片设备制造商阿斯麦(ASML)首席执行官克里斯托夫·富凯于当地时间周二在比利时微电子研究中心(imec)举办的行业会议上公开表示,公司预计未来数月内,将迎来首批采用新款高数值孔径(High-NA)EUV光刻机生产的芯片产品,覆盖逻辑芯片与存储芯片两大核心领域。富凯在会议中明确指出,High-NA EUV光刻机作为面向2nm以下(1.8nm/1.4nm及更先进节点)制程的核心图形化设备,核心价值在于降低顶尖芯片电路光刻成型成本,同时适配AI芯片、HBM/DRAM等高端存储芯片的制造需
  • 关键字: ASML  阿斯麦  光刻机  芯片   High-NA EUV  

台积电暂缓引入High-NA EUV,先进制程竞争不只是设备选择

  • 台积电并没有急着把High-NA EUV(高数值孔径极紫外光)光刻技术放进2029年前的量产节点。作为对比,英特尔则更早导入High-NA设备。两家公司真正的差异,不只是设备选择,而是量产节奏、成本和良率风险的取舍。
  • 关键字: 台积电  英特尔  High-NA  EUV  先进制程  3nm  三星  

ASML最强EUV碰壁! 台积电喊「太贵」真实盘算曝光

  • 台积电在2026年北美技术论坛指出,2029年底没有计划导入艾司摩尔(ASML)最先进的微影设备,此消息冲击ASML股价跌逾1%,台积电ADR大幅上涨逾5%,显示投资人对台积电以较低成本推进技术的策略给予正面评价。根据《路透》报导,台积电并未规划在2029年前采用ASML最新一代高数值孔径极紫外光微影设备(High-NA EUV)投入芯片量产,主因在于该设备成本极为高昂。台积电暂缓导入新设备 成本高昂是关键台积电副共同营运长张晓强直言,ASML新世代High-NA EUV设备价格「非常、非常昂贵」,该设备
  • 关键字: ASML  EUV  台积电  

ASML意外大裁员的背后是对半导体发展失衡的担忧

  • 这次意外大裁员其实并不意外,很有可能源于ASML对未来半导体产业发展失衡状态的前瞻而提前进行的战略调整,面对未来几年可能遭遇无法预知的狂风巨浪,ASML要抢先一步提升自身陀螺仪的鲁棒性。
  • 关键字: ASML  裁员  半导体  EUV  

EUV光刻机将成为算力扩张的下一个瓶颈

  • 随着AI投资狂潮席卷科技行业,真正限制算力扩张的环节在哪里?半导体研究机构SemiAnalysis创始人给出的答案是:瓶颈一直在变。SemiAnalysis是一家近年来在科技和投资圈迅速走红的半导体研究机构,其研究广泛被AI公司、云计算厂商以及对冲基金使用。近日,在一次播客访谈中,SemiAnalysis创始人Dylan Patel系统解释了AI算力扩张背后的供应链逻辑。他指出,过去几年AI算力的限制因素不断变化,就像打地鼠一样,一个瓶颈被解决,新的瓶颈就会出现。算力扩张的瓶颈不断变化Dylan Pate
  • 关键字: EUV  光刻机  算力  ASML  

阿斯麦宣布裁员 1700 名管理人员七周后,员工仍不知情

  • 荷兰芯片设备制造商阿斯麦(ASML)希望在 4 月 1 日前获得工会批准。在这家荷兰芯片设备巨头宣布计划裁减 1700 个管理岗位七周后,其员工仍不清楚自己是否会丢掉工作。此次裁员发生在阿斯麦创下 327 亿欧元年度营收纪录的背景下。裁员目标为阿斯麦技术与 IT 部门的管理岗位,其中荷兰 1400 个、美国 300 个,约占公司全球员工总数的 4%。阿斯麦一名发言人向荷兰广播公司 Omroep Brabant 表示,长期的不确定性已引发内部不安。“员工们完全不知道自己处境如何。他们都在问‘这对我意味着什么
  • 关键字: 阿斯麦  ASML  EUV  

IMEC研发新型曝光后烘烤工艺,提速EUV设备并提升先进芯片产能

  • 比利时微电子研究中心(imec)证实,在极紫外光刻(EUV)的曝光后烘烤(PEB)环节,将氧浓度提升至大气水平以上,可显著提高金属氧化物光刻胶(MOR)的感光速度。感光速度加快意味着光刻胶能以更低的 EUV 曝光剂量达到目标图形尺寸,这将直接提升 EUV 光刻机的产能,并降低曝光工序成本。此前,行业并未将曝光后烘烤腔室的气体成分作为 EUV 光刻的重要优化方向,因此该研究成果具有重要意义,但其产业化前景仍有待观察。imec 的科研人员发现,在 EUV 曝光后烘烤环节,将氧浓度从空气环境中的 21% 提升至
  • 关键字: IMEC  曝光后烘烤  EUV  先进芯片产能  光刻胶  

气体控制技术提升极紫外光刻(EUV)晶圆产能

  • 比利时微电子研究中心(imec)证实,在极紫外光刻(EUV)曝光后的关键步骤中,对气体成分进行精准控制,可最大限度降低所需曝光剂量,进而显著提升晶圆产能。具体而言,当极紫外光刻曝光后烘烤(post-exposure bake)步骤在高氧浓度环境下进行时,金属氧化物光刻胶(MORs)的剂量响应性能得到了显著改善。金属氧化物光刻胶的技术优势金属氧化物光刻胶(MORs)已成为先进极紫外光刻应用的核心候选材料,相较于化学放大光刻胶(CARs),它具备更高的分辨率、更低的线边缘粗糙度,以及更优异的 “剂量 - 尺寸
  • 关键字: 气体控制技术  极紫外光刻  EUV  晶圆产能  imec  

阿斯麦ASML公布EUV光源技术突破,2030年芯片产能或提升50%

  • 2 月 23 日消息,据路透社今日报道,阿斯麦(ASML)的研究人员表示,他们已找到提升关键芯片制造设备光源功率的方法,到 2030 年可将芯片产量提高多达 50%。阿斯麦极紫外(EUV)光源首席技术官迈克尔・珀维斯(Michael Purvis)在接受采访时表示:“这不是花拳绣腿,也不是那种只能在极短时间内演示可行的东西,这是一个能在客户实际生产环境的所有相同要求下,稳定输出 1000 瓦功率的系统。”报道称,随着周一公布的这一技术进步,阿斯麦旨在通过改进光刻机中技术难度最高的部分,进一步拉开与所有潜在
  • 关键字: 阿斯麦  ASML  EUV  光源技术  芯片  产能  

阿斯麦将极紫外光刻机光源功率提升至1000瓦,助力提升芯片良率、降低制造成本

  • 阿斯麦(ASML)宣布将极紫外光刻(EUV)设备的核心光源功率提升至1000 瓦,这一技术突破将直接推动先进制程芯片的生产良率提升,同时有效降低单颗芯片的制造成本,成为先进半导体制造领域的又一重要技术进展。在极紫外光刻技术中,光源功率是决定光刻机生产效率与芯片良率的核心指标之一。更高的光源功率能够让光刻机在晶圆曝光过程中,实现更快的光刻速度与更稳定的图案转移效果:一方面,更高的功率可缩短单晶圆的曝光时间,提升光刻机的单位时间产能;另一方面,稳定的高功率光源能减少光刻过程中的图案偏差、线宽不均匀等问题,大幅
  • 关键字: 阿斯麦  极紫外光刻机  光源功率  芯片良率  ASML  EUV  

国产半导体设备加速崛起

  • 据《日经亚洲》报道,日本研究机构Global Net数据显示,2025年全球芯片设备厂商前20强中有3家中国企业,较2022年美国出口限制前新增2家。这三家公司分别是北方华创、中微公司和上海微电子。值得注意的是,若将范围扩大至排名前30名的企业,还将新增两家中国企业:盛美上海和华海清科。北方华创、中微、上海微、盛美上海、华海清科上榜TOP30这一变化既展现了国产设备凸显群体崛起态势,也印证了美国出口管制未达遏制目的,反而倒逼中国半导体供应链自主化加速,激发了本土产业韧性。北方华创具体排名中,北方华创的排名
  • 关键字: 半导体设备  ASML  北方华创  中微公司  上海微电子  DUV  EUV  

ASML计划裁员4%,简化技术部门内的决策流程

  • 全球最大的先进芯片荷兰制造商ASML在公布其销售额连续第十三年实现增长后,CEO克里斯托夫·富凯(Christophe Fouquet)在声明中表示,计划裁减约1700个工作岗位,作为其技术和IT运营重组的一部分。此次裁员人员主要涉及管理层,人数约占员工总数的4%,大部分裁员将在荷兰进行,美国也有部分职位被裁减。ASML表示,一些领导职位可能不再需要,同时将创建新的工程职位以支持正在进行和未来的项目。“虽然这将使一些受影响的同事能够转移到新的岗位,但我们必须承认,有些人将因此离开阿斯麦公司”。此举旨在加强
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三星首次引入紫外层薄膜是在美国泰勒工厂

  • 三星电子将首次在美国泰勒晶圆厂推出“极紫外(EUV)薄膜”,这是一种提升先进半导体工艺生产力的关键组件。此前尚不清楚是否会引入,但通过订购关键设备几乎确认了申请。根据22日的行业报道,三星电子已在美国德克萨斯州泰勒工厂订购极紫外涂层设备。FST将收到价值250亿韩元的极紫外膜剥离与附着设备及检验设备订单。极紫外膜是安装在光罩上的超薄保护元件,用于曝光过程。半导体将光体现在带有预先绘制电路的光罩上,并被嵌入晶圆上。通过施加极紫外膜,可以防止细颗粒和污染物粘附光罩表面,从而减轻产率劣化。为了在暴露设备中使用极
  • 关键字: 三星  紫外层薄膜  美国泰勒工厂  EUV  

中国EUV技术实现突破,半导体竞赛格局生变

  • 随着计算技术的进步,越来越多的先进芯片应运而生。最新一代 3 纳米和 2 纳米制程芯片的尺寸极小,传统光源波长已无法在如此精细的尺度上实现可靠的图形光刻。这一挑战并非新题 —— 半导体行业长期以来一直使用深紫外光刻(DUV)技术在硅片上进行光刻加工。但要实现最先进芯片设计的纳米级精度,就需要波长更短的光源。这种光源及对应的光刻技术被称为极紫外光刻(EUV)。中国 EUV 原型机提前问世图注:更短、更精准、更纤薄:技术的巨大飞跃,蔡司(ZEISS)数据显示,EUV 技术制造的结构精度达 13.5 纳米,比人
  • 关键字: EUV  半导体  ASML  蔡司  
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euv介绍

在半导体行业,EUV一般指EUV光刻,即极紫外光刻。 极紫外光刻(英语:Extreme ultra-violet,也称EUV或EUVL)是一种使用极紫外(EUV)波长的光刻技术。 EUV光刻采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源,可使曝光波长一下子降到13.5nm,它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸。 根据瑞利公式(分辨率=k1·λ/NA),这么短的波长可以提供极高 [ 查看详细 ]

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