三星首次引入紫外层薄膜是在美国泰勒工厂

三星电子将首次在美国泰勒晶圆厂推出“极紫外（EUV）薄膜”，这是一种提升先进半导体工艺生产力的关键组件。此前尚不清楚是否会引入，但通过订购关键设备几乎确认了申请。
根据22日的行业报道，三星电子已在美国德克萨斯州泰勒工厂订购极紫外涂层设备。FST将收到价值250亿韩元的极紫外膜剥离与附着设备及检验设备订单。
极紫外膜是安装在光罩上的超薄保护元件，用于曝光过程。半导体将光体现在带有预先绘制电路的光罩上，并被嵌入晶圆上。通过施加极紫外膜，可以防止细颗粒和污染物粘附光罩表面，从而减轻产率劣化。
为了在暴露设备中使用极紫外层滤膜，需要专门的剥离和连接滤膜设备以及检查设备以检查状态，因此决定将它们带到泰勒晶圆厂。FST设备不仅支持下一代碳纳米管（CNT）极紫外层薄膜，还支持现有的金属硅化物（MeSi）极紫外层薄膜。
此前，作为竞争对手的台积电自2019年以来，逐步引入日本三井化学的金属硅化物极紫外阳层，并将其应用于先进工艺。
三星电子分别于2020年和2021年投资S&Stech和FST，以推动极紫外膜的定位。此次对相关设施的投资分析显示，已确保一定的绩效，相关技术即将引入。这意味着极紫外滤膜的核心性能指标——耐久性和透射性已达到令人满意的水平。
一位行业官员表示：“目前，极紫外涂层的质量评估正在进行中，但积极的是，定制厂将配备符合大规模生产应用的设备。”泰勒制造厂是三星电子正在建设的半导体制造工厂，目标是在今年下半年开始2纳米（nm）的量产。特斯拉的人工智能（AI）芯片“AI5”也计划在今年内在此量产。
三星电子拥有70多台极紫外电子设备，仅次于台积电，规模第二大。因此，预计国产极紫外电子薄膜的引入将对设备和零部件行业产生重大影响。EUV薄膜的价格估计超过6000万韩元。

值得注意的是，它只部署在泰勒，而不是在韩国。