NanoPhotonics向ISMI出货450mm晶圆检测设备
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这两台设备分别是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，两台设备将和450mm设备前端模块一同集成于ISMI 450mm协同测试试验台。
本文引用地址：https://www.eepw.com.cn/article/91436.htm
这两台设备分别是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，两台设备将和450mm设备前端模块一同集成于ISMI 450mm协同测试试验台。
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