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NanoPhotonics向ISMI出货450mm晶圆检测设备

  •         据Semiconductor International网站报道，NanoPhotonics与ISMI签订合约，将向ISMI出货两台用于450mm晶圆的缺陷检测设备。         这两台设备分别是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，两台设备将和450mm设备前端模块一同集成于ISMI 450mm协同测试试验台。
  • 关键字： NanoPhotonics  ISMI  晶圆  
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