晶圆背面基于具有成本效益的批量挤压印刷平台

　　日前，DEK公司成功开发出高产量的晶圆背面涂层工艺，基于具有成本效益的批量挤压印刷平台，其工艺性能将超越大部分晶圆处理专家所限定的