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台积电公布N2 2nm缺陷率:比3/5/7nm都要好

  • 4月26日消息,在近日举办的北美技术论坛上,台积电首次公开了N2 2nm工艺的缺陷率(D0)情况,比此前的7nm、5nm、3nm等历代工艺都好的多。台积电没有给出具体数据,只是比较了几个工艺缺陷率随时间变化的趋势。台积电N2首次引入了GAAFET全环绕晶体管,目前距离大规模量产还有2个季度,也就是要等到年底。N2试产近2个月来,缺陷率和同期的N5/N4差不多,还稍微低一点,同时显著优于N7/N6、N3/N3P。从试产到量产半年的时间周期内,N7/N6的综合缺陷率是最高的,N3/N3P从量产开始就低得多了,
  • 关键字: 台积电  N2 2nm  缺陷率  3nm  5nm  7nm  

AMD拿下台积电2nm工艺首发

  • 4月15日,AMD宣布其新一代Zen 6 EPYC处理器「Venice」正式完成投片(tape out),成为业界首款采用台积电2nm(N2)制程技术的高效能运算(HPC)处理器,预计将于明年上市。这也是AMD首次拿下台积电最新制程工艺的首发,而以往则都是由苹果公司的芯片首发。N2是台积电首个依赖于全环绕栅极晶体管(Gate All Around,GAA)的工艺技术,预计与N3(3nm)相比,可将功耗降低24%至35%,或者在相同运行电压下的性能提高15%,同时晶体管密度是N3的1.15倍,这些提升主要得
  • 关键字: AMD  N2  制程  台积电  

N2 Purge在LPCVD炉管氮化硅工艺中的应用

  • 在亚微米的生产制造技术中,氮化硅工艺的particle已经成为产品良率的主要影响因素。本文主要针对立式LPCVD氮...
  • 关键字: N2  purge  氮化硅生产  Particle问题  
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