BEOL
BEOL就是制程的后道，形成Device的链接组合并引出PAD 对于beol(后线)的清洗，除了颗粒问题和金属离子的问题，通常的问题是阴离子、多晶硅栅的完整性、接触电阻、过孔的清洁程度、有机物以及在金属布线中总...... [查看详细]
