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比芯片更让人担忧:光刻胶自给率不足5%,50nm工艺以下全靠进口

作者:时间:2021-06-04来源:新浪科技收藏

  最近,关于日本或断供部分国内企业的消息,不时地传出。原因在于日本的产能没有提升,且全球第五大生产企业信越化学(日本企业)KrF光刻胶福岛工厂关闭,产能受限,但全球的产能在不断的提升,于是光刻胶也开始供不应求了。

本文引用地址:http://www.eepw.com.cn/article/202106/426146.htm

  相应的,这些光刻胶厂商肯定优先供应大客户,中国的这些小客户自然优先级排在后面,所以也就有可能面临断供的风险。

  很多人表示,断供能够逼着我们的光刻胶前进,话是这样没错,但说实话,目前国内光刻胶技术与日本或者说国际领先水平差太远,一旦断供,国产顶不上,影响还是很大的。

  光刻胶按照工艺,为可分为5种,分别是g线、i线、KrF、ArF、EUV,这5种光刻胶针对不同的工艺制程。

  g线、i线主要用于250nm以上工艺;KrF一般用于250nm-130nm工艺;ArF一般用于130nm-14nm,最多可以用于7nm DUV工艺;EUV光刻胶主要用于7nm及以下工艺。

  目前国内的光刻胶现状是什么?g线/i线光刻胶自给率约为20%,KrF光刻胶自给率不足5%,ArF光刻胶自给率为0,完全依赖进口,而EUV光刻胶就更加不用提了。

  也就是说,国内的光刻胶技术,最多支持国内的企业们生产130nm工芯片或更成熟的芯片,比这个工艺更先进的,就无能为力了。

  当然,前段时间南大光电表示,公司已经研发出了ArF光刻胶,并且在50nm闪存平台,以及55nm的逻辑芯片节点上通过认证,但目前南大光电的ArF也仅仅只是通过验证,并没有大量生产出货,解决不了什么问题。

  事实上,从全球范围来看,日本才是光刻胶的实质垄断者,在g线/i线、KrF、ArF、EUV光刻胶市场中,日本企业的市占率分别为61%、80%、93%,100%,总体份额超过75%。

  如果我们将光刻机看成是发动机,那么光刻胶就是汽油一样的燃料了,在芯片制造中必不可少的,一旦发生突发事件,我国芯片制造即会受到威胁,因此国产化势在必行。特别是当前中国芯在加速前进的情况下,这种关键性的材料,必须要提高自给率才行。



关键词: 光刻胶 芯片

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