沉浸式光刻机供货紧缺 台系内存芯片厂制程升级受阻

　　据内存业者透露，由于著名光刻设备厂商ASML生产的NXT:1950i沉浸式光刻机目前供货十分紧缺，因此台系内存芯片厂商收到所订购的这种设备的时间 可能会再后延12个月之久，由于NXT:1950i沉浸式光刻机对这些厂商转移到38nm以上级别制程至关重要，因此预计台系内存芯片厂商制程转换的进度 会受到较大的影响。NXT:1950i 是荷兰ASML公司最新开发的沉浸式光刻机，可用于制造12英寸32nm及以上级别制程的产品.

　　此前曾有报道称 NXT:1950i的订货至到货日期已经被拉长到了将近12个月，不少内存芯片厂商由于无法拿到这部先进的机型，因此被迫转向使用ASML上一代的XT系列光刻机来生产芯片，而XT系列机型最高只能满足38nm制程的要求。

　　据消息来源表示，台积电，三星以及东芝这三家财大气粗的公司由于财力雄厚，因此能够抢在普通内存芯片厂商之前预定了这款先进制造设备，因此这几家大厂的制程升级计划并不会被拖延。

　　iSuppli市调公司曾在今年八月份的内存市场报告中指出，ASML公司新设备产能的严重不足很可能会影响到今年下半年内存市场的供货状况。