美光确认EUV工艺DRAM 2024年量产：1γ节点导入
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三星、SK海力士及美光确定未来会用EUV工艺，其中美光的EUV工艺内存在2024年量产。
本文引用地址：https://www.eepw.com.cn/article/202108/427721.htm芯研所8月21日消息，CPU、GPU为代表的逻辑工艺制程进入7nm之后，EUV光刻工艺不可或缺。目前内存停留在10nm工艺级别。三星、SK海力士及美光也确定未来会用EUV工艺，其中美光的EUV工艺内存在2024年量产。
此外，这个1γ工艺要更先进，10nm级别的内存工艺中前三代是1x、1y、1z，再往后是1a、1β、1γ等。在美光之前，三星及SK海力士都更早进入了EUV节点，从去年底就开始部署EUV光刻工艺了，而且比美光更激进，最快在1a工艺节点就会量产EUV内存芯片。
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