“合肥造”光刻设备将打破国外垄断

　　中国芯片制造业高端装备一直以来依赖国外进口，尤其是高端光刻设备受到西方封锁，有钱也买不到，或是毫无竞价权，国内进口集成电路装备采购每年达数十亿美元。在高新区的合肥芯碁微电子装备有限公司，正在通过自主创新，改变这种现况。

　　据介绍，合肥芯碁微电子装备有限公司主要经营微电子高端装备研发、制造、技术服务。公司技术团队是以曾承接国家02重大科技专项《130—65nm制版光刻设备及产业化》项目核心人员为基础，结合国内外业界精英组成，60%以上硕博士。团队骨干均为国内首创激光直写光刻设备、激光曝光设备的核心骨干成员。

　　“有别于传统的创新，我们是完全自主知识产权，用在集成电路制造领域的核心装备，目标是取代进口。”合肥芯碁微电子装备有限公司相关负责人介绍说，即将投产的激光直写光刻机、双台面激光曝光机，均为进口替代产品。

　　其中，该公司的MLL及LDW系列光刻设备是国内目前唯一可以替代进口的半导体光刻设备，已有38所、771所、中科大微纳米中心、11所、13所、半导体所、华中科大等客户购买使用。需求逐步增长，现在每年约30台套。LDI激光曝光机系列是国内目前与以色列奥宝(垄断全球75%市场在中国去年销售台220台)直接竞争的产品。QS系列检测设备，现有客户中芯国际、13所、43所、西南所等，计划项目投产后第二年销售合计20台，销售收入约3000万元。

　　此外，集成电路产业是国家重点支持和发展的战略性产业，高端装备制造业更是工业4.0及中国制造2025发展重点趋势，芯碁微电子装备正是为集成电路产业提供自主高端装备的高科技企业，是各级政府重点支持的新兴产业。

　　合肥芯碁微电子装备有限公司相关负责人认为，核心高端装备业的进口制约导致我国集成电路产业和国防军工产业面临巨大的战略安全威胁。芯碁微电子装备正是以保障国家经济与产业安全为己任，志存高远，力争尽快成长为中国微电子装备业的领导企业。