吉时利第三代晶圆射频测量功能产品

吉时利仪器公司（Keithley）发布了用于半导体生产的第三代晶圆射频 (RF) 测量能力的产品。该射频参数测量系统的RF选件解决方案（选配件），能提供连续、自动、实时的测试和质量监控，操作方便，可获得最高通过率的信息吞吐量，测量质量高，且成本较低。 此外，该射频参数测量系统在全球范围内，是目前唯一获得验证的半导体参数测量系统，适合200mm和300mm晶圆厂进行应用参数工艺控制，以及高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。

吉时利公司的RF选件包括S680型SimulTest选件、自动探针板卡（可更换）及测试结构，可在探针touchdown中及相同的探针触地范围内进行同步直流和射频测量。这一点可以从S680型参数测试结果得到证实，吉时利公司的RF选件具有DC-RF同步的直接驻泊（direct-dock）功能，其运行频率为40GHz。

Keithley公司