Imec发布EUV掩膜缺陷评估方面的成果
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Imec联合合作伙伴发布两份EUV掩膜评估结果，结果显示EUV供应商须在检测掩膜缺陷能力方面进行改善。并与Zeiss SMS合作通过实验演示了一项消除缺陷的补偿技术。
本文引用地址：https://www.eepw.com.cn/article/118835.htm
Imec联合合作伙伴发布两份EUV掩膜评估结果，结果显示EUV供应商须在检测掩膜缺陷能力方面进行改善。并与Zeiss SMS合作通过实验演示了一项消除缺陷的补偿技术。
本文引用地址：https://www.eepw.com.cn/article/118835.htm
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