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euv掩膜 文章 进入euv掩膜技术社区

全球代工谁是老二?格罗方德扩张的背后

  •   在全球代工中,台积电的龙头地位不会改变,目前焦点在“谁是老二”上,格罗方德与三星两家恐有一拼。   全球代工新秀格罗方德Globalfoundries公司近期不断冒出好消息,如宣布在纽约州Saratoga的fab8园区再投资20亿美元,建一个新技术研发中心(简称TDC)。该中心占地50万平方英尺,于2013年初开工,预计2014年完工。   格罗方德TDC将提供一个硅技术的endtoend合作服务平台,包括EUV掩膜、新互联技术及3D芯片堆叠封装等,将集中发展多个方面的半导
  • 关键字: Globalfoundries  EUV掩膜  

Imec发布EUV掩膜缺陷评估方面的成果

  •   Imec联合合作伙伴发布两份EUV掩膜评估结果,结果显示EUV供应商须在检测掩膜缺陷能力方面进行改善。并与Zeiss SMS合作通过实验演示了一项消除缺陷的补偿技术。
  • 关键字: Imec  EUV掩膜  
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