俄罗斯投资6.7亿卢布，开发新型的光刻机，性能或将超越EUV光刻机

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上一篇文章，我们说了，佳能在开发3D光刻机，可以说在叠加芯片方向上，又走出了坚实的一步。那么为什么佳能要朝这个方向努力？只能说ASML在EUV光刻机方面，垄断能力太强了，其他人很难追赶得上，所以只能另辟蹊径，例如通过3D光刻机制造横向纵向叠加的芯片，以此来达到更好的性能。

俄乌冲突之后，欧美西方国家全方面制裁俄罗斯，在半导体领域自然也是如此，俄罗斯最大的半导体厂商米克朗也被美国制裁。

据悉，米克朗出口了俄罗斯微电子产品的 50% 以上，它的前身为成立于1964年3月前苏联时期的分子电子研究所。在上世纪七十年代，米克朗是苏联第一个开发和制造大规模集成电路的公司。

2006年，米克朗获得了欧洲半导体巨头意法半导体的技术转让，从此具备生产0.18μm芯片的能力，后来又在此基础上，于2008年和2009年分别实现130nm和90nm工艺，到了2016年，实现了65nm。目前，米克朗也是唯一一家能量产65nm制程的俄罗斯本土企业。

其实，俄罗斯的芯片采购量很低，还不到全球总量的1%，但也没能摆脱美国的霸权打击。 所以，俄罗斯决心开始开发光刻机。

近日，俄罗斯宣布将投资6.7亿卢布，折合成人民币约5100万元，开发新一代的光刻机，并且俄罗斯莫斯科电子技术学院已经承接了该项任务。

俄罗斯媒体报道称：俄罗斯将研发当前全球最先进的X射线光刻机，或比ASML的EUV光刻机性能更先进。

看到这个消息，很多人会有2个疑问。一是这个钱够吗？才5100万。二是真的能超过EUV光刻机吗？甚至觉得这个消息有点扯。

大家也别着急。

首先在钱的问题上，这次的6.7亿卢布是首批资金，后面应该还会有投入。至于花多少钱办多少事儿，或许一家一个样吧，暂时也不好评论。另外，如果钱实在不够，俄罗斯也可以多卖点石油天然气，还可以涨点价再卖，反制这2个东西有的是。

其次，俄罗斯研发的光刻机，只是计划达到EUV级别，并非EUV光刻机，二者的技术原理完全不同，所有美国和ASML没法限制。

另外俄罗斯的X射线光刻机是基于同步加速器或等离子体源的无掩模X射线光刻机，甚至在某些地方，要比EUV光刻机好。

目前，俄罗斯莫斯科电子技术学院与其他科研机构以及科学家团队，在无掩模光刻领域方面取得了进展。同时，还有泽列诺格勒的同步加速器，以及先进的离子源，所以俄罗斯媒体也很有信心地公开表示，这种光刻机将实现28nm、16nm及以下的工艺制程。

那么X射线能用来光刻吗？

其实这种技术很早就有了，不论是美国、欧洲还是我国，都研制过X射线光刻机，但因为效率差，一般只适合特定场景的芯片制造，不适合量产场景，所以X射线光刻机一直没能取得大范围的推广和应用。

X射线大家肯定不陌生，在医院里很常见，很难想象它能应用到光刻机领域。但很多人可能没想到，X射线的波长比EUV极紫外光还要短。

X射线光刻机使用的是X射线，其波长介于0.01nm到10nm之间，而EUV光刻机使用的是极紫外光波长为13.5nm，可以用于制造7nm及以下的芯片，所以单纯看数据，X射线光刻机是可以达到EUV光刻机的工艺水平的。

另外，X射线光刻机还有一个优势，那就是不需要光掩模版，可以直写光刻，工艺环节少了一个步骤，不仅成本降低了，良品率也会得到提高。

当然，说到这儿，还是有很多人会怀疑，俄罗斯到底有没有能力研发出光刻机。

其实承接这个项目的莫斯科电子技术学院是一所非常厉害的大学，是俄罗斯高科技领域领先的技术大学，它属于俄罗斯国立研究型大学，1965年建校，特色学科就是微电子学、信息技术和计算机工程，拥有现代化的实验室和大量的科技人才。

其实半导体领域除了资金要求以外，更重要的是人才，而俄罗斯向来不缺人才。例如，2000年左右的时候，华为陷入到3G研发的技术瓶颈，后来研发团队发现一位俄罗斯数学家提出的SingleRAN算法可以取得技术突破，最后将其招致麾下，并在俄罗斯为这位数学家单独设立了研究院。

后来，采用这位数学家算法的交换机不但信号稳定，体积更小，而且成本降低了2/3，华为凭借着这款交换机，成功的打开了荷兰电信市场，最终在欧洲站稳了脚跟。

而且俄罗斯开发这种光刻机，还是有很强的技术基础，并不是从零开始的。

当然，即便如此，还是有很多人不看好这个事儿，毕竟光刻机真的是太难了，ASML的EUV光刻机也不是单它自己，甚至是荷兰一个国家能造出来的，它集合了多个国家的技术、零部件才能打造而成。但科技不就是把不可能变为可能吗？只要有决心，就有机会。

总之，如果俄罗斯真的能把这款X射线光刻机实现，那么对于我国来说也是一个非常好的启示，以我们的技术实力和资金实力，应该很快就可以在这个技术路线上取得突破。另外， 中俄两国也可以考虑合作，加快开发进度，或者我们买来直接用。而且我国是世界上最大的芯片进口国，市场有了，什么都好说。

我想这次俄乌冲突以后，西方国家对俄罗斯的疯狂制裁，足以让世界各国看到，美国的霸权主义已经接近疯癫，制裁大棒变成了如同过家家的游戏，看谁不顺眼、谁不听话就挥舞着上去乱打，所以大家心里都很害怕。

那么有能力的国家一定会自己想办法，尽量摆脱各种有可能被卡脖子的领域。中国在这样做，现如今俄罗斯也要这样做。那么世界上两个超级大国通过努力，打破美国的霸权主义，那么对于全球几十亿人来说，都是一个值得欢庆的好事儿，不是吗。