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泛林集团发布应用于EUV光刻的技术突破

  • 近日,泛林集团发布了一项用于EUV光刻图形化的干膜光刻胶技术。泛林集团研发的这项全新的干膜光刻胶技术,结合了泛林集团在沉积、刻蚀工艺上的领导地位及其与阿斯麦 (ASML) 和比利时微电子研究中心 (imec) 战略合作的成果,它将有助于提高EUV光刻的分辨率、生产率和良率。泛林集团的干膜光刻胶解决方案提供了显著的EUV光敏性和分辨率优势,从而优化了单次EUV光刻晶圆的总成本。由于领先的芯片制造商已开始将EUV光刻系统应用于大规模量产,进一步提升生产率和分辨率将帮助他们以更合理
  • 关键字: EUV  光刻  

泛林集团在提高EUV光刻分辨率、生产率和良率取得技术突破

  • 泛林集团与阿斯麦 (ASML) 和比利时微电子研究中心 (imec) 共同研发的全新干膜光刻胶技术将有助于提高EUV光刻的分辨率、生产率和良率。
  • 关键字: 泛林  EUV  干膜光刻胶技术  

2021年ASML将推下一代EUV光刻机 面向2nm、1nm工艺

  • 作为全球唯一能生产EUV光刻机的公司,荷兰ASML公司去年出售了26台EUV光刻机,主要用于台积电、三星的7nm及今年开始量产的5nm工艺,预计今年出货35台EUV光刻机。目前ASML出货的光刻机主要是NXE:3400B及改进型的NXE:3400C,两者基本结构相同,但NXE:3400C采用模块化设计,维护更加便捷,平均维修时间将从48小时缩短到8-10小时,支持7nm、5nm。此外,NXE:3400C的产能也从之前的125WPH(每小时处理晶圆数)提升到了175WPH。不论NXE:3400B还是NXE:
  • 关键字: ASML  EUV  

麒麟820处理器要来,6纳米+EUV工艺,手有技术气自华!

  • hello,大家好,欢迎来到阿洛伊科技华为将于2月24日21:00举行在线新品发布会。在疫情爆发期间,手机制造商选择在网上举行发布会。据悉,此次发布会的主题是“共同未来”。从海报上看,本次大会将涵盖多个类别,包括折叠手机、笔记本电脑、平板电脑、智能手表、智能家居等,不过,据媒体透露,本次大会将会有一个惊喜,即将发布最新的旗舰SOC麒麟820处理器。与上一代麒麟810相比,该处理器有哪些升级?让我们看看。麒麟820处理器将采用cortex A76架构。不采用最新的cortex a77架构的主要原因是,ARM
  • 关键字: 麒麟820  6纳米  EUV  

台积电遇强大对手!6nm、7nm EUV开启全面量产,中国仍需努力!

  • 告别了诺基亚、HTC、黑莓等手机,目前的智能手机阵营也就是安卓和苹果,而智能手机俨然就是人们的第二个精神生命,手机不离手已经成为了一种现象,但是对于智能手机来说,除了软件以外,最重要最核心的就是手机芯片了!但是在全世界来说,能够生产高端芯片的厂商少之又少,主要还是因为纳米级制程工艺的技术壁垒,谁能够率先突破制程工艺,谁都将会在半导体芯片上拔得头筹,对于中国来说,这一块仍然非常的滞后,当然了如果说台积电也是中国的话,那么中国其实还是领先的!但是毕竟台积电一直以来是中国台湾企业,但其实其也一直受限于美国的政策
  • 关键字: 台积电  EUV  

面向3nm及以下工艺,ASML新一代EUV光刻机曝光

  • 很快,台积电和三星的5nm工艺即将量产,与此同时,台积电和三星的3nm工艺也在持续的研发当中。而对于5nm及以下工艺来说,都必须依靠EUV(极紫外)光刻机才能实现。而目前全球只有一家厂商能够供应EUV光刻机,那就是荷兰的ASML。很快,台积电和三星的5nm工艺即将量产,与此同时,台积电和三星的3nm工艺也在持续的研发当中。而对于5nm及以下工艺来说,都必须依靠EUV(极紫外)光刻机才能实现。而目前全球只有一家厂商能够供应EUV光刻机,那就是荷兰的ASML。目前ASML出货的EUV光刻机主要是NXE:340
  • 关键字: 3nm  EUV  

三星最先进EUV产线投用:7nm产能今年增加两倍

  • 当前,有实力围绕10nm以下先进制程较量的厂商仅剩下Intel、台积电和三星三家。
  • 关键字: 三星  EUV  7nm  

EUV市场供不应求,ASML或取代应材登全球半导体设备龙头

  • 根据外媒报导,已经多年蝉联全球半导体设备龙头的美商应材公司(Applied Materials),2019年可能将其龙头宝座,让给以生产半导体制造过程中不可或缺曝光机的荷兰ASML,原因是受惠即紫外光刻设备(EUV)的市场需求大增,进一步拉抬了ASML的市占率表现。
  • 关键字: EUV  ASML  半导体设备  

ASML第三季接23台EUV系统订单

  • ASML近日发布2019年第3季财报。根据财报显示,ASML在2019年第3季销售净额(net sales)为30亿欧元,净收入(net income)为6.27亿欧元,毛利率(gross margin)43.7%。
  • 关键字: ASML  EUV  营运  

三星公布全球首颗 7nm EUV 芯片——Exynos 9825

ASML发布Q2季度财报 EUV光刻机产能大增

  • 掌握全球唯一EUV光刻机研发、生产的荷兰ASML(阿斯麦)公司今天发布了2019年Q2季度财报,当季营收25.68亿欧元,其中净设备销售额18.51亿欧元,总计出货了41台光刻机,其中EUV光刻机7台。
  • 关键字: 阿斯麦  极紫外光刻  EUV  

高通Snapdragon 865肥单 传交三星7纳米EUV制程生产

  • 韩国业界传出消息,指三星电子(Samsung Electronics)获高通(Qualcomm)新一代应用处理器(AP)Snapdragon 865(暂称)晶圆代工订单。2018年台积电(TSMC)抢走高通AP晶圆代工订单,如今再度回到三星手上,可望挹注三星晶圆代工事业部不少业绩。
  • 关键字: 高通  三星电子  NVIDIA  台积电  EUV  Snapdragon  Exynos处理器  

数字时报:台积电7nm+ EUV已开始量产

  • IT之家5月26日消息 据《数字时报》报道,台积电首席执行官表示,该公司7nm+ EUV已开始批量生产。这是台积电第一次、也是行业第一次量产EUV极紫外光刻技术。
  • 关键字: 台积电  7nm+   EUV  

三星5nm EUV研发完成:功耗降低20%

  • 在芯片代工领域,台积电和三星是实力最强劲的两大巨头。不过,最近几年,台积电的实力要更胜一筹,通过7nm工艺,台积电拿到了苹果、高通、AMD、比特大陆等多家的大订单。而三星自家最新的Exynos 9820处理器,采用的则还是8nm工艺。今天,三星在官网上带来了一个新消息,5nm EUV成功开发完成。这对三星而言,算是一个里程碑式的成就。三星表示,与7nm相比,5nm FinFET工艺功耗降低了20%,性能提高了10%。需要说明的是,三星的7nm工艺去年10月开始宣布并初步生产,今年年初实现量产。最近三星曝光
  • 关键字: 三星  EUV  5nm  

EUV光刻取得成功,Lasertec功不可没

  • 在经历了二十多年的研发之后,芯片制造商在一项能够大幅度提升硅片上晶体管密度的技术上压下了重注,那就是EUV光刻。他们能够取得成功,日本东京郊区的一家名为Lasertec小公司功不可没。
  • 关键字: EUV  Lasertec  
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euv介绍

远紫外线光刻技术(extreme ultraviolet )。 市场的殷切需求和技术节点的不断进步仿佛是悬在光刻技术头顶的“利剑”,虽然不至于“随时冷汗涔涔”,但是在某种程度上督促着光刻要永远走在前面。商品化光刻机分辨率从1.0μm到0.1μm的演变过程和光源波长从436nm(G-line),经历356nm(I-line)和248nm(KrF),到如今193nm(ArF)的过程;NA从0. [ 查看详细 ]

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