ASML出货超过100台EUV光刻机 新制程时代来临

芯研所消息，全球半导体的缺货，进一步激发了上游半导体设备厂商的产能，据外媒报道截至第二季度，ASML EUV设备出货总量达到102台，随着需求量的提高和客户群的扩大，预计2年内累计供应量将增加2倍以上，标志着EUV时代正式拉开帷幕。

据统计，过去四个季度（2020年第三季度-2021年第二季度），ASML EUV设备出货总计40台，较之前四个季度（2019年第三季度-2020年第二季度）增长了66%。ASML今年的出货目标是40台左右，下半年将供应25台左右。

根据ASML的说法，5-7nm逻辑半导体（以每月45,000颗晶圆为基准）每个EUV层需要一台EUV设备，16nm及以下节点DRAM（以每月100,000颗晶圆为基准）每个EUV层则需要1.5-2台设备。三星电子计划，到今年下半年为止，将14nm DDR5 DRAM的EUV应用层数从1层增加到5层，SK海力士也计划增加EUV应用层数，因此，预计EUV设备的需求将进一步增加。

除了EUV层的增加，EUV设备的客户群也在逐渐扩大。继2018年三星电子首次引进7nm制程的EUV设备后，台积电和SK海力士也加入了EUV竞争。美国的美光和英特尔也在推进EUV设备的引进，预计市场规模将进一步扩大。