清华大学院士工作站落户蚌埠 加强MEMS行业研究应用

　　11月10日上午，在中国MEMS(微机电系统)传感器暨集成电路产业发展高峰论坛上，清华大学副校长、中科院尤政院士和中国兵器工业第二一四研究所共同为清华大学院士工作站揭牌，至此，清华大学院士工作站首次正式落户我省蚌埠中国兵器二一四研究所。

　　新安晚报、安徽网、大皖客户端记者获悉，此次合作的目的是加强双方在MEMS相关领域的技术研究和应用，实现研发与产业结合，以国际上同行业先进技术为标杆，创新成果拥有自主知识产权，做到技术水平达国际先进、国内领先，同时培养高素质人才，推动行业整体技术水平提高。

　　院士工作站将开展MEMS技术研发和产业化，进行包括高精度大量程MEMS惯性器件的设计研究、低应力MEMS制造工艺及工艺一致性研究、低功耗高信噪比惯性器件配套ASIC电路设计研究、异质材料的低应力高密度集成封装技术研究、大批量高精度MEMS器件晶圆级测试技术、基于多MEMS传感器数据的导航定位算法研究在内的多项研究工作，并计划在相关领域申请多项国家专利，实现MEMS技术的领先地位。

　　清华大学院士工作站的建立不仅利用专家、专业知识为中国兵器工业搭建了技术创新的服务平台，提升了技术合作的质量和效率，也同时为蚌埠工业技术水平的提升做出了巨大的贡献，更是强有力地推动了我省及国家科技发展，实现了专家、企业的共赢。