微电子50年—新中国半导体事业的坎坷路

　　回望50年

　　岁月如流，58年大学毕业至今，半个世纪已逝去，而往事却历历在目，仿佛就发生在昨天，一幕又一幕……

　　走进微电子

　　56年毛主席，周总理为了发展我国的科学事业，采取了四项紧急措施，其中之一就是加速半导体学科的发展，清华当年即创办了半导体专业，57年李志坚教授从前苏联学成回国，领导教研室，58年前苏联专家又来清华讲学，因此母校华中工学院(今华中理工大学)即时派我到清华进修，主攻半导体器件，从此与微电子学结上了终身之缘。

　　我是与清华首届半零[1]同学一起听课和学习的，全部课余时间在初创的实验室参加科研。我被分配到晶体管组，进行合金P-N结的研究并自制一台晶体管参数测试仪。这种理论与实践高度结合的效果非常好，李教授刚讲完能带论、P-N结，我们马上能在科研中看到它、测到它。这是一个充满活力的集体，虽然学习、科研很紧张，但大家都非常愉快、融洽，它既培养了我们的刻苦钻研精神，又培养了我们的团队精神。

　　60年学毕返校，创建了半导体专业，讲授半导体器件与材料课，同时带领一批比我更年青的教工和学生，风风火火地创建了实验室。什么都自己动手干，并研制出了半导体二极管。当时居然得到心中敬仰的科学院院长、著名诗人、作家郭沫若的视察及鼓励，大家非常兴奋。可是三年困难时期到了!粮食很紧张，国家制定了调整方针，学校对一批刚上马的专业也调整了，半导体下马。62年10月按应届毕业生分配到了中科院计算所二室101组(固体电路组)工作。一进实验室，四壁空空，只看见一个年青人，身穿白大褂，蹲在一个电炉旁边，炉上有一个玻璃烧杯，里面有几块指甲盖大小的紫蓝色硅片，他说：“这是要做二极管的”。我心里暗想，似曾相识!后来才了解到，本组是由59年刚回国的青年科学家黄敞研究员领导，他还在北大讲授半导体器件课，52年美国哈佛大学毕业后即从事晶体三极管的创业工作，应该属于晶体管的创始人之一。58年就在美国电化学与半导体会议上发表过外延模型，并预言可以改善晶体管特性。当时组里正在研究厚膜电阻译码器二极管矩阵(混合集成电路)以及外延技术，这在国内是领先的，与世界亦是同步的。我立即被分配负责研制平面二极管，接着研制外延小功率开关三极管，一切都很吸引人，开始埋头苦干。63年9月，我们组被命名为十一室(集成电路研究室)。

　　激情燃烧的日子---参加微型计算机研制

　　65年8月，我们去参加了一个院里召开的大会，党委书记兼副院长张劲夫在台上来回走动，激动地挥动双手说：“我提着脑袋把任务给你们要来了，你们要好好干”!，会上宣布，成立计算所二部，亦称“156”，专门研制微型计算机。我们在台下，亦热血沸腾!深知自己参加的工作，是国家所急需，是时代赋予的使命，心中既高兴，又紧张!随后，很快从科大、清华调来了十来个毕业生，干部及设备也配齐了。特别是从东北光机所三天之内调来了一个室。我被任命负责研制外延中功率开关三极管，这个任务难度很大，初期做出的P-N结总是低压击穿，饱和压降也下不来，于是将全组排成三班倒。大家都是随叫随到，正副组长则是12小时一轮换，常常一天干13-14个小时。黄敞先生也亲自指导，教我不要局限一点，要全面考虑各种参数的全面配合，我们又重新设计了版图……那时全组团结得如一个人，人人尽职尽责，指到哪，打到哪，真是激情燃烧的日子!部室领导也抓的非常紧。科研处处长马庆魁就常站在实验室外面等着芯片，副主任何绍宗晚上给我们送面条、面包……情景十分感人。主任赵松岩则遥望南楼，感慨的说：“灯火辉煌156”。记得我们室有一个叫韩景春的同志，负责封装，既无资料更无经验，只有不断地摸索才能前进，在他试验用什么化学药品时，没有高级设备去分析，只靠舌头去尝，感到不对劲时，就跑到水龙头处马上用水冲。在这样的条件下，他把研制出的组件硬是给封好了!76年他重病在身，已病危了，我去看他时，他已经神志不清了，但还陆陆续续跟我说：“毛主席还活着，他正在深圳的上空走着呢!”听着听着，我的泪水洒满了面颊。当时就是这样一群人，为了国家的需要，无私地奉献着自己的青春乃至生命!既无职称、无荣誉，更无光环、奖金，却默默无闻地工作了一辈子，他们什么也不求，只求祖国的富强!