标签 光刻技术社区

光刻

光刻Top 　　利用照相复制与化学腐蚀相结合的技术，在工件表面制取精密、微细和复杂薄层图形的化学加工方法。光刻原理虽然在19世纪初就为人们所知，但长期以来由于缺乏优良的光致抗蚀剂而未得到应用。直到20世纪50年代，美国制成高分辨率和优异抗蚀性能的柯达光致抗蚀剂(KPR)之后，光刻技术才迅速发展起来，并开始用在半导体工业方面。光刻是制造高级半导体器件和大规模集成电路的关键工艺之一，并已用于刻划光栅、线纹尺和度盘等的精密线纹。查看更多>>

  • 光刻资讯

俄罗斯押注130纳米芯片：本土光刻技术能否弥补技术鸿沟？

俄罗斯 130纳米 2026-02-24

ASML报告2025年销售额为327亿欧元

ASML 光刻 2026-02-02

据中国中小企业在国内推动下赢得1.1亿元人民币光刻工具合同

光刻 中国 2025-12-30

日本开发10纳米印记技术，有望解决极紫外（EUV）瓶颈问题

光刻 日本 2025-12-29

美国智库指出DUVi存在漏洞，中国正推动利用多模式技术开发先进芯片

DUVi 光刻 2025-12-23

据报道，中国利用较旧的ASML组件制造EUV原型机，Eyes 2028芯片制造

ASML EUV 2025-12-19
  • 光刻专栏

仅次于光刻、我国半导体制造核心技术突破，核力创芯首批氢离子注入性能优化芯片产品交付

光刻 2024-09-11

High NA EUV主要部件已经启动，达成“第一道光”里程碑！

光刻 2024-03-05

鼎龙股份多项光刻胶相关重大项目获立项，将获得1.6亿元资金支持

光刻 2023-11-17

华为公开EUV光刻新专利，解决相干光无法匀光问题

光刻 2022-11-23

EUV光刻，最终胜出！

光刻 2022-08-26

【科普】什么是EUV光刻？

EUV 光刻 2019-06-17
光刻论坛
04-28  集成电路的制造
wayaj|浏览：3126|回复：3| wayaj 2020-05-01 15:35:09
06-22  EUV光刻技术，想了解的可以下载看看
fellow|浏览：2777|回复：1| wys415622 2011-07-29 12:09:37
更多 技术趋势

  • AI催生“芯片通胀”：2D NAND价格失控，300%涨幅背后的行业博弈

  • 2nm芯片成本暴涨20%：最贵的安卓芯，最难的旗舰年

  • 国产晶圆最大并购案：中芯国际406亿交易的“产线经济学”

  • 中国AI史上最大融资：DeepSeek背后的野心与变局

  • 华为提前布局AI眼镜市场，为何敢对屏幕说“不”

    • 更多 最新动态
    更多 培训课堂

    借助组合式电量计提升精度并缩减系统占用空间

    立即报名 预先提问

    实施可靠电源的途径

    立即报名 预先提问

    ADI家庭总线数据线供电解决方案

    观看会议 问答精选

    EEPW 2025 年度产业技术回顾与展望直播——机器人专场

    观看会议 问答精选
    更多 资源下载
    摄像头输入到Mnist模型推理
    时间：
    +立即下载2026-05-19
    虚拟现实技术在石油工业中的应用
    时间：
    +立即下载2026-05-19
    解密！如何使用系统级设计来设计燃料电池系统？
    时间：
    +立即下载2026-05-19
    康佳特嵌入式计算一站式平台
    时间：
    +立即下载2026-05-19
    康佳特 2025亮点产品
    时间：
    +立即下载2026-05-19
    更多 最新帖子
    【转载】NE555芯片原理讲解--from毅
    MarsZ|浏览：43|回复：0
    【转载】设计电路所需知识与技能总结--from毅
    MarsZ|浏览：48|回复：0
    【原创】STM32+K210视觉避障小车零基础学习--from毅
    MarsZ|浏览：39|回复：0
    【git车轮向前进】git撤回本地commit的内容
    jobs|浏览：56|回复：0
    【git车轮向前进】git中的HEAD^和HEAD~
    jobs|浏览：41|回复：0
    过程贴-手把手教你搭建WSL
    8888q|浏览：59|回复：0
    相关标签

    光刻 光刻机 光刻设备