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imec 率先利用high-NA光刻技术制备出量子点量子比特

imec 量子点 2026-05-26

英特尔陈立武:14A制程2029年量产,18A工艺良率回升

阿斯麦CEO:首批High-NA光刻机生产的芯片将在数月内面世

ASML 阿斯麦 2026-05-20

台积电暂缓引入High-NA EUV,先进制程竞争不只是设备选择

台积电 英特尔 2026-04-28

4亿美元太贵!台积电仍拒绝购买ASML的High-NA EUV设备

台积电 ASML 2025-10-23

High-NA不是通往2纳米时代的唯一道路

High-NA 2纳米 2025-09-18
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