微影技术
微影技术(Lithography)是制造晶体管及它们之间的连结的关键技术，在半导体制程上较狭义之定义，一般是指以光子束经由图罩(Mask, Reticle)对晶圆(Wafer)上之阻剂照射；以电子束、离子束经由图罩、...... [查看详细]
