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2nm 工艺的计量策略

  • 晶圆制造工具正变得更加专用于 Si/SiGe 堆栈、3D NAND 和键合晶圆对。
  • 关键字: 2nm  EUV  

ASML堵了EUV光刻机的路,但国产光刻机有3大新方向

  • 众所周知,当前全球只有ASML一家能够生产EUV光刻机,甚至可以说很长一段时间内,全球也只有ASML能够生产光刻机,不会有第二家。原因在于ASML把EUV光刻机的路堵住了,这条路别人是走不通的。ASML与全球众多的供应链,形成了捆绑关系,像蔡司等与ASML形成了利益共同体,EUV光刻机中,蔡司等厂商至关重要,掌握核心科技,缺少这些供应链,其它厂商不可能制造出EUV光刻机。所以,目前众多的其它光刻机企业,并不打算走EUV光刻机这条路,在另寻它路。同样的,国产光刻机基本上也走不通EUV这条路,只能另寻他路,而
  • 关键字: ASML  EUV  光刻机  

美国发起的对华联合出口限制留下漏洞?

  • 据报道,荷兰和日本已与美国达成协议,共同限制向中国出口芯片制造工具,这将进一步削弱中国半导体行业的发展,因为除了限制中国制造商使用 EUV 光刻机外,进一步限制其使用浸没式 DUV 光刻机。但在美国对中国发起的严格出口限制中,中国半导体企业是否可以利用任何关键漏洞来缓冲冲击?这似乎是一个值得仔细研究的问题。近年来,美国加大了对中国半导体产业发展的打压力度。不仅设计了各种策略和行动,还动员了盟友的参与。在 2022 年 10 月对向中国出口先进芯片制造工具和技术实施全面出口限制后,美国急于让拥有 ASML
  • 关键字: EUV  DUV  深紫外光刻机  

EUV光刻机开始“落幕”了

  • 说到光刻机大家难免会想到三个厂商,荷兰的ASML公司、尼康和佳能。而光刻机就是制造芯片的核心装备。现如今光刻机领域的核心地位就是荷兰的ASML,他与台积电合作,共同突破了沉浸式DUV光刻机,也正因为此动作,才奠定了ASML在光刻机领域的核心地位。后续ASML又推出了更加高端的EUV光刻机,而且还是独家垄断生产。这就进一步使得ASML成为行业的巨头。随着科技的不断发展,市场就要越来越追求高性能以及高要求,ASLM造成的长时间垄断,导致其他同行没有办法发展。在他自身无法突破的前提下,他的路是越走越窄。在全球范
  • 关键字: 光刻机  ASML  DUV  EUV  

三星拟新设至少10台EUV光刻机:展露要当世界第一的野心

  • 最新消息显示,尽管全球经济将放缓,但三星仍计划扩大DRAM与晶圆代工的晶圆产能,明年在其P3晶圆厂新设至少10台极紫外光刻设备(EUV),用于生产最新的12nm级内存芯片,而三星目前仅有40台EUV光刻机。
  • 关键字: 三星  EUV  光刻机  

三星首次采用韩国本土EUV光刻胶 打破日企垄断

  • 据报道,三星首次引入韩国本土公司东进世美肯(Dongjin Semichem)研发的EUV光刻胶(EUV PR)进入其量产线,这也是三星进行光刻胶本土量产的首次尝试。在2019年经历与日本的光刻胶等关键原料的供应风波之后,三星就在尝试将关键原料的供应本土化,经过三年的努力,韩国实现了光刻胶本地化生产。在日本限制出口、三星尝试重构EUV光刻胶的供应链之后,东进世美肯就已开始研发EUV光刻胶,并在去年通过了三星的可靠性测试,随后不到一年就被应用于三星的大规模生产线。不过,EUV光刻胶可用于3-50道程序,目前
  • 关键字: 三星  韩国  EUV  光刻胶  

有多贵?ASML新EUV光刻机单台硬件造价2500亿:可买三台顶级航母

  • 都知道光刻机单台成本非常的贵,但是你知道有多贵吗?一台数亿美元的光刻机让我们看到了一款硬件设备的价格极限,然而,ASML CEO Peter Wennink最新接受媒体采访时透露,他们正在全力研制划时代的新光刻机high-NA EUV设备,而高NA EUV光刻机系统的单台造价将在300亿到350亿欧元之间,约合人民币2195到2561亿元。这个价格什么概念,一搜顶级航母的价格差不多在100亿美元左右,而这台硬件设备可以买三艘顶级航母,而ASML目前在售的双工件台EUV光刻机不过数亿美元,作为下一代产品身价
  • 关键字: 光刻机  ASML  EUV  

事关EUV光刻技术,中国厂商公布新专利

  • 近日,据国家知识产权局官网消息,华为技术有限公司于11月15日公布了一项于光刻技术相关的专利,专利申请号为202110524685X。集成电路制造中,光刻覆盖了微纳图形的转移、加工和形成环节,决定着集成电路晶圆上电路的特征尺寸和芯片内晶体管的数量,是集成电路制造的关键技术之一。随着半导体工艺向7nm及以下节点的推进,极紫外(extreme ultraviolet,EUV)光刻成为首选的光刻技术。相关技术的EUV光刻机中采用强相干光源在进行光刻时,相干光经照明系统分割成的多个子光束具有固定的相位关系,当
  • 关键字: EUV  光刻  华为  

美光:成功绕过了EUV光刻技术

  • 本周美光宣布,采用全球先进1β(1-beta)制造工艺的DRAM内存芯片已经送样给部分手机制造商、芯片平台合作伙伴进行验证,并做好了量产准备。1β工艺可将能效提高约15%,存储密度提升35%以上,单颗裸片(Die)容量高达16Gb(2GB)。一个值得关注的点是,美光称,1β绕过了EUV(极紫外光刻)工具,而依然采用的是DUV(深紫外光刻)。这意味着相较于三星、SK海力士,美光需要更复杂的设计方案。毕竟,DRAM的先进性很大程度上取决于每平方毫米晶圆面积上集成更多更快半导体的能力,各公司目前通过不断缩小电路
  • 关键字: 美光  EUV  光刻技术  

芯片巨头美光:成功绕过了EUV光刻技术

  •   本周美光宣布,采用全球最先进1β(1-beta)制造工艺的DRAM内存芯片已经送样给部分手机制造商、芯片平台合作伙伴进行验证,并做好了量产准备。  1β工艺可将能效提高约15%,存储密度提升35%以上,单颗裸片(Die)容量高达16Gb(2GB)。  一个值得关注的点是,美光称,1β绕过了EUV(极紫外光刻)工具,而依然采用的是DUV(深紫外光刻)。  这意味着相较于三星、SK海力士,美光需要更复杂的设计方案。毕竟,DRAM的先进性很大程度上取决于每平方毫米晶圆面积上集成更多更快半导体的能力,各公司目
  • 关键字: 美光  DRAM  内存芯片  光刻机  EUV  

ASML:有望继续向中国出货非EUV光刻机

  • 近期,全球半导体龙头设备企业阿斯麦(ASML)、泛林(LAM)公布了其最新一季度财报,阿斯麦方面,最新一季度销售额和利润均超出市场预期,其新的净预订额也创下了纪录。此外阿斯麦CEO Peter Wennink表示,ASML有望继续向中国出货非EUV光刻机;泛林方面,当季公司营收创下历史新高,官方表示,2023年晶圆厂设备支出将下滑。ASML:有望继续向中国出货非EUV光刻机10月19日,光刻机大厂阿斯麦公布了2022年第三季度财报。数据显示,ASML第三季度净营收同比增长10%至58亿欧元,超出此前业界预
  • 关键字: ASML  EUV  光刻机  泛林  

半导体厂倚重EUV 先进微影技术的强劲需求

  • 微影设备业者ASML第一季已完成136台极紫外光(EUV)曝光机出货,累计超过7,000万片晶圆完成EUV曝光。随着EUV微影技术推进,预期2025年之后新一代EUV曝光机每小时曝光产量可达220片以上,以因应客户端先进制程推进至埃米(Angstrom)世代对先进微影技术的强劲需求。虽然2023年半导体市况能见度低且不确定性高,但包括台积电、英特尔、三星、SK海力士、美光等全球前五大半导体厂仍积极投资EUV产能,加上制程推进会带动光罩层数增加,法人乐观看好家登、帆宣、公准、意德士(等EUV概念股明年营运将
  • 关键字: 微影技术  ASML  EUV  

荷兰光刻机巨头大举增加在华员工 背后有什么深意?

  • 在美国拼命打压中国之际,荷兰光刻机巨头ASML却相反,根据该公司透露的消息,ASML今年将在中国招聘200多名员工,以跟上中国的增长步伐,这意味着ASML 在华员工人数已超过 1500 人,占ASML公司全球员工的14%。那么,ASML到底想干什么呢?首先,ASML公司是想赚钱,虽然台积电、三星等买去了荷兰ASML公司的大部分EUV光刻机,但ASML公司可以在中国销售DUV等光刻机。而且,2021年ASML的第一大客户就是中国大陆芯片企业,中国大陆芯片企业为ASML贡献了超过290亿美元,而中国台湾和韩国
  • 关键字: ASML  EUV  

泛林集团、Entegris 和 Gelest 携手推进 EUV 干膜光刻胶技术的生态系统

  • 泛林集团 (NASDAQ: LRCX)、Entegris, Inc. 和三菱化学集团旗下公司 Gelest, Inc, 于近日宣布了一项战略合作,将为全球半导体制造商提供可靠的前体化学品,用于下一代半导体生产所需的、泛林突破性的极紫外 (EUV)干膜光刻胶创新技术。三方将合作对未来几代逻辑和 DRAM 器件生产所使用的 EUV 干膜光刻胶技术进行研发,这将有助于从机器学习和人工智能到移动设备所有这些技术的实现。             
  • 关键字: 泛林集团  EUV  干膜光刻胶  

卡脖子也没用 国内厂商芯片新技术绕过EUV光刻机

  • 毫无疑问,如今国内芯片厂商面前最大的障碍就是EUV光刻机,不过EUV光刻机是研制先进芯片的一条路径,但并非唯一解。    对于国内厂商来说,当前在3D NAND闪存的发展上,就因为不需要EUV机器,从而找到了技术追赶的机会。而在DRAM内存芯片领域,尽管三星、美光、SK海力士找到的答案都是EUV,可来自浙江海宁的芯盟则开辟出绕过EUV光刻的新方案。芯盟科技CEO洪沨宣布基于HITOC技术的3D 4F2 DRAM架构问世。他指出,基于HITOC技术所开发的全新架构3D 4F2 DRA
  • 关键字: 芯片  EUV  光刻机  
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