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​单价超19亿!抢先台积电,英特尔订购ASML全球首台最新、最先进的EUV光刻机

发布人:旺材芯片时间:2022-01-21来源:工程师

源:内容整理自联合报、快科技


昨日,ASML公布了2021年第4季及全年财报,都创历年新高且优于预期。ASML并宣布去年底及今年都接获最新一代高数值孔径(Hing-NA)极紫外光(EUV),意味ASML在导入 0.55 数值孔径High-NA EUV 光刻技术的道路上又迈出了一步。
High-NA EUV 是ASML最新一代光刻设备,虽然ASML未透露下单客户,但因这项设备被业界视为做为未来投入环绕闸极(GAA)技术节点关键微影设备,预料下单厂商应是台积电或三星,从台积电稍早公布资本支出高达400亿到440亿美元,且首度揭露用于2nm先进制程投资,这也意味台积电在2nm有重大突破,并下单采购High-NA EUV,投入2nm研发及试产。
台积电供应链透露,台积电内部规划2nm试产部队于今年第4季正式成军,这也意味台积电在先进制程,不会让三星有任何超车的机会。
不过据了解,三星也紧急抢购一台High-NA EUV,并要ASML直接拉到三星工厂内进行测试,创下ASML首创直接先出货再客户厂内测试的首例,显见二大厂在先进制程竞赛超乎想象的激烈。
ASML 2021年第4季营收为50亿欧元,营收净额为18亿欧元,毛利率54.2%,新增订单金额71亿欧元;2021年全年营收达186亿欧元,营收净额59亿欧元,毛利率52.7%。
ASML也公布2022年第一季财测,预估营收净额约33亿到35亿欧元,毛利率约49%。ASML计划宣布2021年每股普通股5.5欧元的总股息 (年增率达100%)。
针对柏林工厂部分建筑物火灾的影响评估,ASML表示,根据目前资料评估,柏林工厂的火灾不会对2022年的系统出货产生重大影响,因此,ASML预估该公司2022年的营收净额仍可比2021年增长约20%。
ASML总裁暨执行长温彼得 (Peter Wennink) 表示,ASML第4季的营收达到50亿欧元,符合财测;由于强劲的升级与服务收入挹注,2021年的毛利率达到54.2%,优于财测。
温彼得进一步指出,去年第4季的新增订单金额达到71亿欧元,其中26亿欧元来自0.33 NA和0.55 NA EUV系统订单。
他说,对ASML来说,2021年是强劲成长的一年。2021年ASML总营收达186亿欧元,其中的63亿欧元来自于42台EUV系统。
展望2022年,温彼得指出,客户对ASML的系统出货需求高于我们的生产能力。终端市场的强劲需求为ASML客户带来量产更多晶圆的压力。为了支持客户,ASML提供客户在既有机台上的高生产力升级方案,另一方面也正在努力优化工厂的生产周期、增加机台出货量。其中一种缩短生产周期的方法是略过在工厂进行测试项目,加速出货流程,直接在客户端进行最终测试和正式验收。尽管这些出货量的营收认列将被推迟到客户正式接受之前,但确实为我们的客户争取更早获得晶圆产能的机会。
ASML预期2022年第一季的营收约落在33亿欧元到35亿欧元间,毛利率约49%,研发成本约7.6亿欧元,管销费用约2.1亿欧元。温彼得表示:「调降第一季财测的主因是: 大量的快速出货导致约20亿欧元的收入将推迟至后续季度认列。同时,目前预期有6台EUV的系统认列将递延迟至2023年。尽管如此,综观2022年,公司预计全年营收成长仍将达到20%。
单价超19亿Intel全球首个下单订购ASML最先进EUV光刻机
1月19日最新消息,Intel宣布第一个下单订购了ASML TWINSCAN EXE:5200光刻机。
TWINSCAN EXE:5200是ASML的高数值孔径EUV光刻机,其吞吐量超每小时220片晶圆(wph)。
从路线图来看,EXE:5200预计最快2024年底投入使用,2025年开始大规模应用于先进芯片的生产。
事实上,4年前,ASML的第一代高NA(0.55 NA)光刻机EXE:5000,Intel就是第一个下单的公司。不过当前的7nm、5nm芯片还并非是其生产,而是0.33NA EUV光刻机。
和0.33NA光刻机相比,0.55NA的分辨率从13nm升级到8nm,可以更快更好地曝光更复杂的集成电路图案,突破0.33NA单次构图32nm到30nm间距的极限。
外界预计,第一代高NA光刻机EXE:5000会率先用于3nm节点,至于EXE:5200,按照Intel的制程路线图,2025年至少是20A或者18A,也就是5nm和5nm+。
此前,ASML发言人曾对媒体透露,更高的光刻分辨率将允许芯片缩小1.7倍、同时密度增加2.9倍。未来比3nm更先进的工艺,将极度依赖高NA EUV光刻机。
最后不得不说,Intel能抢到第一单,除了和ASML一致紧密合作外,当然也是因为“钞能力”,Gartner分析师Alan Priestley称,0.55NA下一代EUV光刻机单价将翻番到3亿美元(约合19亿元人民币)。


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