利用触发同步源表进行VCSEL测试

垂直腔面发射激光器（VCSEL）正在逐步代替传统的边发射激光器，特别是成本因素特别重要的低带宽和短距通信系统中。边发射激光器在测试之前必须从晶圆上切割下来，并磨光边沿，而VCSEL厂家可以在晶圆级测试其器件。

光强度（L）－电流（I）－电压（V）扫描是确定VCSEL工作特性而进行的一系列测量。LIV测试需要有斜波电流通过VCSEL，并利用光电探测器（PD）测量产生的光输出。
图 7‑29所示为一个简单的晶圆级测试系统。使用了两台2400型源表。一个晶圆探针通过一块探针卡电气连接到每个器件。探针台也将光探测器定位到器件的正上方。当来自VCSEL的光照射到反向偏压的PD时，漏流将增大。漏流的幅值与照射到有源区的光密度相关联。

图 7‑29 VCSEL的晶圆级测试

切换配置

如果探针卡能同时连接多个器件，那么就可以利用如图 7‑30所示的系统，在探针卡每次连接到晶圆时同时测试所有的器件。

选择个体VCSEL进行测试，该VCSEL的相应继电器被闭合，并利用PD来检查光密度。源表首先进行必要的直流测试，例如正向偏压、反向击穿电压和漏流。然后强加足够的电流照射VCSEL，第二块2400测量PD增加的漏泄。在完成该项测试后，则选择下一个器件的切换通道。

根据测试规范的电流灵敏度要求，可利用2400或6517A测量PD。2400可用于测量大约10nA的电流，而6517A则能可靠测量小于10fA的电流。

7011型多路选通卡的偏移电流技术指标为100pA，可能会超过测试系统的允许误差。代之以7158型小电流扫描卡可把偏移值降低至1pA。注意，由于小电流开关卡仅有10个通道用于扫描，所以使用小电流开关卡将降低系统中可用通道的数量。