Immersion机台缺货　台DRAM厂改采购旧机种应急

　　全球半导体产业走入50奈米制程后，浸润式曝光机台(Immersion Scanner)出现大缺货，尤其是最新款的NXT:1950i机种上，交期几乎拉到快12个月，使得2010年才下订单的台系DRAM厂苦等多时;存储器业者透露，尔必达(Elpida)阵营开始转向采购旧机种XT:1950i应急。然美光(Micron)阵营则认为，旧机种顶多用到40奈米制程就是极限，不像新机种NXT:1950i可以一路做到30奈米。

　　半导体产业在进入50奈米以下制程，都必须开始用Immersion Scanner，此机器设备1台价格高达新台币10亿~20亿元，过去2年DRAM产业不景气时，台系厂商根本没有资金可以去预定机台，因此设备商 ASML现在交货都以台积电、三星电子(Samsung Electronics)、东芝(Toshiba)等大厂为主，台湾DRAM厂转制程的进度也因此被严重耽搁。

　　目前4大DRAM阵营当中，三星和海力士(Hynix)等韩系大厂早已拿到Immersion Scanner机台，不但已经量产50奈米制程，也开始大量转进30奈米，美光阵营由于资金充足，Immersion Scanner机台近期也都陆续到货，只剩下尔必达阵营的Immersion Scanner机台到位时程最晚。

　　存储器业者透露，尔必达阵营中的台系DRAM厂，日前也决定放弃等待交期长达12个月的新机种NXT:1950i，转向采购旧机种XT:1950i，一来不用等太久，二来 XT:1950i机种比NXT:1950i便宜约20%，可以节省支出费用。

　　然而，ASML 新一代的NXT:1950i标榜可以因应到30奈米制程的技术，且产出速度更快，1小时?出可达175~200片晶圆，但旧机种XT:1950i可能只能因应到40奈米制程，届时如果要再导入30奈米世代制程，就要再花钱更新机台。

　　目前两阵营各有各的说词，美光阵营由于资金充裕且预定的时间点早，因此策略是倾向是一步到位，全数都采购最新的NXT:1950i，因应美光、南亚科和华亚科计划2011年将要开始导入35奈米，届时不用再更新机台。

　　然尔必达阵营确认为，旧机种XT:1950i虽然只能做到40奈米世代，但现在要抢时效比较重要，Immersion Scanner机台越早进入，越可以快速转进42奈米制程，拉进与同业间的距离，等到30奈米世代时，其实只要再补足一些机台就可以继续转进，并不需要全数更换。

　　DRAM业者认为，尔必达阵营为了抢时效采购XT:1950i世代的机器未必是坏事，如果现在不赶紧转进42奈米制程，光是靠63 奈米制程支撑，虽然成本结构仍有优势，但却没有2Gb产品可以满足客户的需要。

　　DRAM业者进一步分析，尔必达一向擅长利用现有制程微缩，以最少的费用创造最大的效应，象是这次从65奈米微缩成的63奈米就是杰作之一，其成本效应和50奈米不相上下，但投资金额却降至最低。

　　未来到40奈米以下，尔必达也利用微缩技术的优势做了3个版本的技术，包括40奈米4F2技术、35奈米和38奈米，届时会看哪里个制程够成熟，再选择量产哪里项技术，若幸运的话，XT:1950i在未来1年半之内都可以持续使用，届时需要再添购部分的NXT:1950i机台时，Immersion Scanner机台的缺货荒可以早已解除。