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微型光机电系统

　　微型光机电系统的英文缩写是“MOEMS”，它是微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件。MOEMS日益成为新的光学工具，已经对许多基于光学的仪器显示出应用前景。　　1959年，1965年诺贝尔物理学奖获得者Richard P Feynman提出微型机械的构想。　　1962年，硅微型压力传感器问世，之后50～500微米的齿轮，齿轮泵，气动涡轮及联接件等微系统问世。查看更多>>

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发展中的MOEMS压力传感器

微型光机电系统 MOEMS 2007-01-29
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