微型光机电系统

　　微型光机电系统的英文缩写是“MOEMS”，它是微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件。MOEMS日益成为新的光学工具，已经对许多基于光学的仪器显示出应用前景。　　1959年，1965年诺贝尔物理...... [查看详细]