微型光机电系统介绍
微型光机电系统的英文缩写是“MOEMS”，它是微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件。MOEMS日益成为新的光学工具，已经对许多基于光学的仪器显示出应用前景。 1959年，1965年诺贝尔物理学奖获得者Richard P Feynman提出微型机械的构想。 1962年，硅微型压力传感器问世，之后50～500微米的齿轮，齿轮泵，气动涡轮及联接件等微系统问世。 1966 [
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