中电45所与Strasbaugh300mm CMP项目正式签约

　　3月18日SEMICON China 2009展会第二天，中国电子科技集团公司第45研究所与美国Strasbaugh公司就300mm CMP项目合作举办了隆重的签字仪式，工业和信息化部副部长娄勤俭出席了签约仪式。

　　45所所长郭永兴表示：“300mm晶圆的化学机械抛光是国家重点扶持的项目，也是当前晶圆加工的关键设备之一。双方在这一技术领域的互利合作将大大促进我国关键半导体设备的开发推广及应用，对CMP设备产业化的发展起到积极的促进作用。”

　　Strasbaugh公司在平面技术领域有着60多年的历史，其半导体材料及IC制造业的抛光研磨技术处于世界领先地位。自从去年与45所签订代理协议后，其CMP产品成功地应用在IC制造行业及大学实验室研究领域。Strasbaugh公司副总裁Michael Kirkpatrick表示，将进一步加强与45所的合作，共同开发中国市场，为300mm CMP项目的合作做出贡献。