中芯国际每年“捡”到近900万元

　　魔术人人会变，关键是看谁更专业、手法更纯熟。在清洁生产的大舞台上，中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上演了一出非常专业的“魔术”，在不到三年的时间内共实施了35个清洁生产项目，靠清洁生产每年能“捡”到886.3万元的经济效益，节电195.5万度。

　　同时，该公司也将于年底前再次收到浦东新区环保协会给予的300万元基金补助，协助企业在环保方面的持续投入和不断改进。

　　废气处理效率超过96%

　　日前，中芯国际集成电路制造(上海)有限公司PFCs气体减排项目已正式完成，新装的65台电加热水洗本地废气处理设备全部投入运行。该项目总投资2343万元人民币，预计等效二氧化碳减排将达到每年4.28万吨。

　　集成电路制造业的一大特点是废气量大、污染种类多。中芯国际在建厂初期就投入巨资用于废气治理设施，每年持续投入数千万元用于废气治理运营。

　　“近两年，中芯国际每年投入上千万元用于主动减排PFCs气体，并建立了PFCs气体减排的专业团队。”中芯国际集成电路制造(上海)有限公司企业环保安全卫生处处长殷有雄说。

　　据悉，PFCs是指全氟碳化物，在半导体制造领域，主要在薄膜工序中作为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用,使用气体包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、NF3、SF6等。这些气体能破坏地球的臭氧层产生温室效应，减少全氟碳化物(PFCs)排放对环境产生的影响，已受到世界各国重视。

　　针对公司废气处理现状，中芯国际专业团队制定了减排计划，并选择了高效、合理的PFCs气体处理设备。在设备与技术的双重革新下，该类设备经傅氏转换红外线光谱分析仪(FTIR)检测，平均处理效率超过96.5%。预计今年中芯国际单位面积PFC排放量为1.86吨CO2e/平方米， PFCs产生的单位面积等效二氧化碳整体削减率达到32%。

　　形成38项节能方案

　　在半导体生产企业中，制冷机系统大多采用敞开式运行，产生了大量的余热。而由于芯片生产中，又需要用到纯水清洗，公司在其中花费了大量的蒸汽来加热自来水。“公司一直致力于将这两者有效结合，实现清洁生产”，殷有雄说。

　　一块“板”解决了这一难题，中芯国际自主研发了一套冰机热回收系统，在冰机背后设置了一块类似于挡热板的设置，而这块“板”不但能挡住余热的流出，还能吸收余热，用来加热自来水。

　　“这套装置能将自来水从10℃加热到22℃，每年可节省市政蒸汽2.32万吨，折合标煤1994吨。”中芯国际相关技术人员透露，该技术已经获得国家专利。

　　记者了解到，中芯国际已获得英国标准协会ISO 14001认证(一套有关环境保护的非官方国际标准)。自2010年开始，在水资源回收和再利用、废气治理、节电设计、废弃物减量化等清洁生产方面，中芯国际累计投入了1833万元，形成了38项方案。

　　今年8月28日，中芯国际再次被列入香港恒生可持续发展企业指数，以表彰其在环境保护、社会责任和公司治理等方面的表现。9月，中芯国际集成电路制造(上海)有限公司荣获浦东新区“环境诚信绿色等级企业”荣誉称号，成为浦东新区15家获此殊荣的企业之一。