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MOCVD

MOCVD   MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor DePosition)的英文缩写。MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。它以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr)下通H2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行,衬底温度为500-1200℃,用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方),H2通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。

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难以捉摸的蓝色LED:研究人员最终是如何取得胜利的?

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芯片 MOCVD 2018-04-24

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爱思强 MOCVD 2016-06-14

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LED MOCVD 2015-10-28

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三安光电 MOCVD 2014-08-08

争夺万亿“蛋糕” 装备制造商积极布局

MOCVD LED 2014-08-03

2014年全球LED用MOCVD机台出货量将超186台

LED MOCVD 2014-06-03

解密天龙光电的“如意算盘”

天龙光电 MOCVD 2014-05-28

德豪润达 今年有望实现MOCVD设备满负荷运转

德豪润达 MOCVD 2014-05-23

LED背光设计进入成熟期 竞争项目复杂化

LED背光 MOCVD 2014-05-16

供不应求 LED芯片要涨价了?

LED芯片 MOCVD 2014-05-16

受益下游需求拉动 LED芯片厂商动作频频

LED芯片 MOCVD 2014-05-14

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LED MOCVD 2014-05-09

国内LED产业再现扩产潮 产能过剩不得不防

LED MOCVD 2014-04-24

新兴产业头衔敲开补贴大门 LED企业最易获补

LED MOCVD 2014-04-21

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三安光电 MOCVD 2014-04-17

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LED MOCVD 2014-04-11

LED芯片需求估610亿片 龙头公司积极备战

LED芯片 MOCVD 2014-04-08

2014年3月当季中国蓝宝石需求环比增长30%

蓝宝石 MOCVD 2014-04-01

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LED MOCVD 2014-03-04

台韩LED厂下单意愿低落,MOCVD设备商Aixtron受挫

MOCVD LED 2014-02-28

亿光:大陆LED补贴转向消费者 公平竞争的开始

LED MOCVD 2014-02-16

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MOCVD LED 2014-01-27

混战整合期 国产LED芯片将迎三国立体竞争

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