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XPS=X-ray Photoelectron Spectroscopy X射线光电子能谱分析 　　1887年，Heinrich Rudolf Hertz发现了光电效应。二十年后的1907年，P。D。 Innes用伦琴管、亥姆霍兹线圈、磁场半球 (电子能量分析仪)和照像平版做实验来记录宽带发射电子和速度的函数关系。

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