KLA-TENCOR推出新型 P-6 表面轮廓仪系统

　　KLA-Tencor 公司（纳斯达克股票代码：KLAC）今天发布其最新的探针式表面轮廓测量系统 P-6™，该系统针对科学研究与生产环境（例如，光电太阳能电池制造）提供一组独特的先进功能组合。P-6 系统受益于在先进半导体轮廓仪系统上开发的测量技术，但却采用了较小与较经济的桌面型机台设计，可接受最大至 150 毫米的样本。

　　KLA-Tencor 的成长与新兴市场集团副总裁 Jeff Donnelly 表示：“我们对 P-6 探针系统的推出感到振奋，该系统将为科学与太阳能客户提供在应用方面的最佳功能组合。对于太阳能市场，P-6 拥有在开发阶段提高太阳能电池效率，以及监控生产制程质量所需的分辨率、扫描质量和自动控制能力。”

　　融合 KLA-Tencor 的自动化 P-16+ 探针式轮廓仪的众多功能，P-6 探针式轮廓仪充分承袭了最佳技术与效能的传统：

　　•低噪声基底可改善表征微小表面特征的测量灵敏度
　　•小于 6 埃的步进高度可重复性，确保了严苛的制程控制
　　•150 毫米 X-Y 样本载台可实现覆盖整个基底的单一测量
　　•2D 应力测量与分析可将缺陷降至最低并提升良率
　　•功能强大且容易使用的分析软件，提供高阶应用的灵活性

　　P-6 轮廓仪已通过主要太阳能产品制造商 BP Solar 的合格认证。BP Solar 技术副总裁 Eric Daniels 表示：“我们对 KLA-Tencor 的 P-6 系统的评估证明，它对于多种表面测量应用系统的一系列制程条件具有高灵敏性，其中包括 ARC 薄膜、导线触点及前表面纹理结构。对于支持我们的技术开发与生产改善，P6 将发挥重要价值。”

　　P-6 系统将于 2008 年 7 月 15 至 17 日在旧金山举办的 InterSolar 北美展会第 9252 号 KLA-Tencor 展台上展出。