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集成电路可靠性试验―盐雾技术研究

作者:时间:2013-11-30来源:网络收藏

1 前言

  盐雾试验是试验之一,它可以用来检验产品的抗腐蚀环境能力的强弱。而盐雾试验所需的条件又比较多,这些条件会对试验产生一定的影响。

  2 试验

  一般我们做盐雾试验的条件是盐液:NaCl(无水);pH值:6.5~7.2;温度:32-38℃;盐雾沉积率:20000~50000/m2 (24h);盐雾持续时间:24h,48h,96h,240h;盐浓度:0.5%-3%。

  盐雾沉积率与盐浓度是相对应的,这是因为它们之间的对应关系如下式

  

集成电路可靠性试验―盐雾技术研究

  Sd为盐雾沉积率;[Cl]-为氯离子浓度。

  因为盐浓度就是氯离子浓度,所以盐浓度与盐雾沉积率之间是相对应的。

  根据以上条件可以判断,在进行盐雾试验时,影响试验的主要条件有以下几点:温度;盐液浓度;氧的溶解度;流速。

  为了验证以上的条件对试验的影响,本文选用若干表面干净的电路按下列方法进行试验验证。

  方法1:盐选用NaCl(无水);温度为35℃;时间为24h。流速一定;按盐浓度为1%,2%,3%,4%,5%分五组进行试验,每一组五个电路。

  方法2:盐选用NaCl(无水);浓度为3%;盐雾沉积率为50000/m2*24h;时间为24h。流速一定;按温度20℃,25℃,30℃,35℃,40℃,50℃分六组进行试验,每一组五个电路。

  方法3:盐选用NaCl(无水);浓度为3%;盐雾沉积率为50000/m2(24h);时间为24h。温度为35℃;按流速正常和流速变大分两组进行试验,每一组五个电路。

  另外,为了研究样品的摆放对试验的影响,我们用方法4进行试验。

  方法4:将15只样品平均分成三组,盖板向上,样品偏离垂直方向30°,45°,75°,90°进行试验,其他试验条件是:盐选用NaCl(无水);浓度为3%;盐雾沉积率为:50000/m2(24h);时间为24h。流速一定;温度为35℃。

  试验后用纯净水清洗电路,放置1小时后,试验结果见表1。

  

集成电路可靠性试验―盐雾技术研究

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关键词: 集成电路 可靠性
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