集成电路可靠性试验―盐雾技术研究
本文对以上试验结果进行了分析。在盐雾试验中，由于各种金属的电极电位不同以及它们在盐液中的过电位大小不一，所以在盐雾中会发生很多的 电化学反应。在阳极是金属失去电子，成为离子，在阴极发生的电化学反应类型有析氢反应和氧去极化反应等，其中氧去极化反应(吸氧反应)是最主要的反应类型。它是由于盐液中含有的溶解氧而 造成的，溶液中的氧可通过扩散作用不断地向阴极区移动。
氧向电极表面扩散决定整个吸氧腐蚀过程的速度，因为氧在盐溶液的溶解度是有限的，吸氧腐蚀速度往往被氧向金属表面的扩散速度所控制，也就是说，金属腐蚀速度是与氧在阴极还原的极限电流密度相一致的。
氧向阴极扩散速度由Fick第二定律得出
式中，D为溶解氧扩散系数;δ为扩散层厚度;Ce为电极表面氧的浓度;C为溶液中氧的浓度。
电极反应速度可由法拉第定律得出
id：极限电流密度;n：价数;F：法拉第常数。
当电极反应达到平衡，即扩散控制时：V1=V2由公式(2)、公式(3)得出
由于随着电极反应的进行，电极附近氧原子不断消耗，Ce降低，当Ce→0时，公式(4)可变为
从公式(5)中可以看出，极限电流密度id与扩散层厚度δ、溶解氧扩散系数D、溶解氧的浓度C、价数n等有关;极限电流密度的大小也就意味着腐蚀速度的大小;其中D与环境温度成正比。
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