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技术应用
改良西门子法 多晶硅生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上,同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。 改良西门子法相对于传统西门子法的优点主要在于: 1)节能: 由于改良西门子法采用多对棒、大直径还原炉,可有效降低还原炉消耗的电能; 2)降低物耗:改良西门子法对还原尾气进行了有效的回收。查看更多>>
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