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微机电系统

　　微机电系统是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。MEMS的特点是： 　　1)微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。 　　2)以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。查看更多>>

  • 微机电系统资讯

柔性集成电路、微机电系统与金属氧化物：破解全新技术难题

柔性集成电路 微机电系统 2026-02-09

Pickering推出新款基于MEMS的射频开关模块

Pickering MEMS 2023-06-27

满满的知识点|关于射频微机电系统开关的那些事儿

射频 微机电系统 2022-05-16

微机电系统EMC达到99%改进幅度

MEMS 微机电系统 2021-08-29

详解微机电系统，总有你不知道的点

微机电系统 MEMS 2019-02-20

MEMS是什么？看完这篇就懂了

MEMS 微机电系统 2017-10-13
微机电系统论坛
06-12  微机电系统(MEMS)加工及技术基础
dolphin|浏览：2543|回复：0| dolphin 2014-06-12 10:31:32
06-12  微机电系统(MEMS)主要分类
dolphin|浏览：2778|回复：0| dolphin 2014-06-12 10:31:32
06-12  微机电系统(MEMS)特点分析
dolphin|浏览：3359|回复：1| 乐呵乐呵 2016-05-03 16:39:17
06-12  微机电系统(MEMS)概述
dolphin|浏览：2437|回复：0| dolphin 2014-06-12 10:31:32
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