外延生长

外延生长Top　　外延生长【epitaxial growth】【】 在单晶衬底（基片）上生长一层有一定要求的、与衬底晶向相同的单晶层的方法。外延生长技术发展于20世纪50年代末60年代初，为了制造高频大功率器件，需要减小...... [查看详细]