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　　FabEX是一种优化的、“无需等待”的自动物料传送系统，拥有其专利技术，传送晶圆盒的速度非常快（>3米/秒），因而，能缩短生产周期，提高设备的利用率和增加生产产能。与采用传统运输装置或者悬吊式搬运车辆的AMHS相比，FabEX速度更快，它能够曲线移动或者爬坡，摆动小，有效控制了颗粒物的产生。由于FabEX不需要任何搬运车辆，所以它能提供很高的产能。以上特性都基于IP 技术控制和软件，它能与晶圆厂实现无缝整合。查看更多>>

  • AMHS资讯

精准识别，智能传输，弥费科技AMHS传感控制设备解决方案

弥费 AMHS 2024-08-21

弥费科技完成C轮亿元融资，加速半导体AMHS全球化布局

弥费 AMHS 2024-07-15

弥费科技8吋&12吋晶圆厂AMHS系统验收，打破行业长期海外垄断

弥费 晶圆厂 2024-06-14

大尺寸液晶面板生产对AMHS提出更高要求

液晶 TFT-LCD 2009-10-14

ASYST推出AMHS新方案增加晶圆厂的生产力

晶圆 ASYST 2008-07-17
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