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绝缘体上硅

  绝缘体上硅(SOI,Silicon-on-insulator)被业界公认为纳米技术时代取代现有单晶硅材料的解决方案之一,是维持 Moore 定律走势的一大利器。绝缘体上硅是指以“工程化的”基板代替传统的体型衬底硅的基...... [查看详细]

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