粒子计数器
气体工业名词术语。粒子计数可采用激光粒子计数器或凝聚核粒子计数器。He2Ne激光粒子计数器,可分析气体中011μm粒径的颗粒杂质;Ar2Kr激光粒子计数器可分析0105μm粒径颗粒杂质,目前已有可检测超高纯气中01005...... [查看详细]