SiC元件“真命天子” 沟道MOSFET即将实用化
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各SiC基板企业在‘ICSCRM 2013’上纷纷展出150mm(6寸)口径的SiC基板(a)。在SiC基板上层积外延层的外延服务也开始支援150mm。昭和电工已于2013年10月推出了这项服务(b)。
现在，已经投产6寸产品并开始供应样品的主要基板企业只有美国科锐、新日铁住金等少数几家公司。为了改变这种格局，美国道康宁、美国贰陆(II-VI)、德国Si-Crystal等欧美企业，以及中国SICC、南韩SKC等众多基板企业都已经宣布投产6寸产品。汇总各公司的计划来看，在2015年之前，供应6寸产品的企业将增加到近10家左右。除此之外，昭和电工还表明，在SiC基板上层积外延层的外延服务也将支援6寸基板。随着各公司把6寸产品纳入视野，基板企业之间的价格竞争将日趋激烈，功率元件企业将有望以更低的成本，采购到需要的基板。
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