GaN基量子阱红外探测器的设计
通过逐步调节量子阱势垒的组分,最终发现In0.1Ga0.9N/In0.2Al0.3Ga0.5N多量子阱结构中的极化电荷基本可以抵消,也就是说,做到了极化匹配。极化匹配的GaN基多量子阱结构的能带结构如图3所示。
从图中可以看出,在极化匹配的情况下,GaN基量子阱结构与传统的GaAs基或InP基量子阱类似,在没有外加电场时,都是矩形势阱结构。在这样的能带结构下,通过改变势阱的厚度,可以设计不同探测波长的量子阱红外探测器。另外,通过改变势垒和势阱的成分,并在这个过程中保持极化匹配,将来还可以设计出不同深度的量子阱结构,实现不同探测波段的量子阱红外探测器。
3 结语
利用自发极化和压电极化的相互抵消作用,通过对GaN基多量子阱结构的能带结构进行研究,找到了可以极化匹配的GaN基多量子阱结构,完成了GaN基量子阱红外探测器的设计,为下一步实现GaN基量子阱红外探测器做好了准备。
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